판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9353268

STEAG/MATTSON/AST Atoms (STEAG/MATTSON/AST Atoms) 는 혁신적인 고급, 초순수, 고온 어닐링 프로세스를 사용하여 성능 향상을 위해 효과적이고 일관된 열 처리를 제공하는 빠른 열 프로세서입니다. 고정밀도, 디지털 제어 난방 장비로 제작되어 전례없는 온도 범위에서 정확한 온도 사이클링 (cycling) 을 제공합니다. 빠른 열 프로세서는 뛰어난 안정성, 조절 가능한 프로세스 시간, 2 개의 독립 온도 제어 루프, 고급 백사이드 웨이퍼 (backside wafer) 온도 측정 시스템 등 다양한 기능과 기능을 갖추고 있습니다. AST 아톰 프로세서 (AST Atoms processor) 는 디지털 제어 무접촉 저항 난방 장치를 사용하여 실리콘 웨이퍼의 표면을 9 초 이내에 원하는 온도로 빠르게 가열합니다. 기계는 케이블을 사용하여 웨이퍼 (wafer) 에 와디 전류 (eddy current) 를 생성한 다음 유도 가열 도구를 사용하여 가열합니다. 함께 작동하는 이 두 가지 방법은 필요한 온도를 빠르고 일관되게 달성합니다. STEAG 아톰 (STEAG Atoms) 프로세서에는 열 처리 중 웨이퍼의 효과적이고 최적의 온도 제어를 위해 병렬로 작동하는 2 개의 개별 온도 제어 루프가 있습니다. 첫 번째 루프는 비례 적분-파생 컨트롤러 (비례-적분-파생 컨트롤러) 이고 두 번째 루프는 자동 조정 컨트롤러로, 세트 포인트를 부드럽게 제어할 수 있습니다. 즉, 수동 조정이나 중재 (intervention) 가 필요 없이 웨이퍼를 일관되게 제어된 온도로 빠르고 균일하게 가열합니다. 원자 프로세서는 또한 웨이퍼 테일 클램프 모델을 통해 고급 백사이드 웨이퍼 온도 측정 에셋을 사용합니다. 이것은 열 처리 중 웨이퍼의 온도를 빠르게 측정하여 정확성과 일관성 (Consistency) 을 보장하도록 설계되었습니다. 뒷면 웨이퍼 온도 측정 장비는 400 ° C 이상의 온도에서도 엄청나게 빠르고 정확하도록 설계되었습니다. 매트 슨 아톰 (MATTSON Atoms) 빠른 열 프로세서는 빠른 열 처리를 통해 제조업체가 매우 정확하고 일관된 구성 요소를 생산할 수있는 놀라운 도구입니다. 강력한 기능 조합, 뛰어난 안정성, 조절 가능한 프로세스 시간, 이중 온도 조절 루프, 고급 웨이퍼 온도 측정 시스템, STEAG/MATTSON/AST Atoms 프로세서는 속도와 성능 모두에서 눈에 띄는 강력한 도구입니다.