판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9229578

STEAG/MATTSON/AST Atoms는 박막 증착, 산화, 어닐링 및 금속 스퍼터 증착과 같은 프로세스에 반도체 산업에서 사용되는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 장비는 다양한 특수 온도 조절 기술 (specialized temperature controling technologies) 을 활용하여 우수한 균일성으로 원하는 온도를 빠르게 달성합니다. 이 시스템에는 QVTF (Quartz Vertical Tube Furnace) 와 위쪽 또는 아래쪽 가스 흐름 기능이 장착되어 있으며, 둘 다 관심 영역 전체에서 균일하고 정확한 온도 조절을 보장합니다. QVTF는 수직 석영 튜브 (vertical quartz tube) 이며, 독특한 디자인은 웨이퍼 또는 기타 기질의 효율적인 가열과 처리를 촉진합니다. 수직 튜브로 (vertical tube furnace) 는 뛰어난 온도 균일성과 빠른 온도 변화율을 제공하는 낮은 열 질량 에너지 플랫폼에 장착됩니다. AFC (air forced convection) 모듈도 장치에 포함되어 있습니다. AFC 모듈은 공기 흐름 및 제한된 가스 흐름을 결합하여 기질의 원하는 가열을 제공합니다. 이것은 치료 중 기질 주위에 난류 기류 (turbulent air current) 가 생성되면서 전통적인 시스템과 비교할 때 프로세스 내에서 온도 균일성을 향상시킵니다. 기계의 온도 조절 및 모니터링은 고출력 증폭기 (high power amplifier), 마이크로프로세서 (microprocessor), 열전대 (thermocouple), 온도 센서 (temperature sensor) 및 고급 소프트웨어 프로그램을 포함한 일련의 고급 구성 요소를 통해 수행됩니다. 이러한 구성 요소는 온도를 제어할 때 뛰어난 정밀도를 제공합니다. AST Atoms 는 단일 영역 처리, 최대 8 개의 제어 영역, 최대 200 개의 구성 등 다양한 온도 프로파일을 제공합니다. 한 플랫폼 (platform) 에서 여러 가지 치료 프로그램을 동시에 실행할 수 있으므로 여러 처리 요구에 이상적입니다. 또한, 자산은 우수한 열 균일성을 제공하며, STEAG Atoms의 정밀 온도 제어는 최고의 RTP 시스템 중 하나입니다.