판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST AST 3000 #9103112

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급속열공정장비
제조사
STEAG / MATTSON / AST
모델
AST 3000
ID: 9103112
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" Single chamber (3) Loaders (3) Unloaders 2000 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST 3000은 반도체의 대규모 열 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. RTP는 고속, 고정밀 온도 제어를 갖춘 확장 가능하고 비용 효율적인 장비입니다. 이 장치는 기술자에게 다양한 프로세스 조건을 제공하며, 최대 3 개의 기판을 수용합니다. RTP는 효과적인 난방 요소와 디지털 온도 컨트롤러 (Digital Temperature Controller) 를 사용하여 전체 프로세스 전체에서 균일 한 온도를 달성합니다. 시스템의 내장 장치 일관성 기능은 프로세스 반복성과 신뢰성을 보장합니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 오염을 줄이기 위해 설계되었으며 압력, 산소 수준 등 통제 된 처리 조건을 허용합니다. RTP에는 온도, 압력, 산소 수준 등의 처리 매개변수를 추적하는 강력한 모니터링 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구의 고급 제어 에셋 (Advanced Control Asset) 은 연산자에게 챔버의 온도 설정에서 가열률 (Heating Rate) 및 냉각 속도 조정 (Cooling Rate) 에 이르기까지 정밀하게 프로세스를 제어할 수있는 기능을 제공합니다. 제어 모델은 자동화 (automated) 되고 대화형 (interactive) 으로 운영자에게 제어판의 모든 처리 매개변수를 실시간으로 설정하고 조정할 수 있는 기능을 제공합니다. RTP는 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하므로 운영자가 진행 상황을 편리하게 모니터링하고 매개 변수를 처리할 수 있습니다. 또한, 장비는 다양한 레시피 (레시피) 를 제공하여 운영자가 특정 응용 프로그램에 필요한 설정과 매개변수를 신속하게 조정할 수 있습니다. RTP의 상세한 모니터링 시스템 (monitoring system) 과 프로그래밍성 (programmability) 은 반도체 웨이퍼 처리에 안정적이고 강력한 도구입니다. RTP는 단순하고 반복 가능한 출력을 용이하게 함으로써 수율 증가, 오류 감소, 효율성 향상을 지원합니다. 이 장치는 확장성이 뛰어나고 프로세스 전송을 수용하며, 여러 기판 및 웨이퍼 크기에 유연성을 제공합니다.
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