판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #9266541

STEAG/MATTSON/AST AST 2900은 반도체 웨이퍼의 고급 처리를 위해 설계된 고성능 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 에피택셜 성장 (epitaxial growth), 도펀트 활성화 (dopant activation), 어닐링 (annealing) 과 같은 응용 분야에서 우수한 열 및 속도 성능을 제공 할 수 있습니다. AST 2900 은 탁월한 온도 조절 정확도와 반복성을 제공하여, 처리가 신뢰성이 높고 반복 가능하도록 합니다. 수평으로 장착 된 장비로, 독특한 가드 히터 (guarded heater) 디자인이 장착되어 전체 웨이퍼 직경에서 균일하고 균일하게 가열됩니다. STEAG AST2900은 최고 5 ° C/초의 가열 속도와 우수한 열 조절을 유지하면서 최대 30 ° C/초의 냉각 속도를 제공합니다. STEAG 2900 은 고속 교환 매니 폴드 (Manifold) 및 대량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 를 갖춘 가스 전달 시스템을 갖추고 있어 다양한 프로세스에 다양한 가스를 사용할 수 있습니다. STEAG/MATTSON/AST 2900은 작동 중 안전을 보장하기 위해 자동 차단을 갖춘 지상 결함 인터럽터 및 2 단계 안전 밸브 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 MATTSON AST2900 에는 최첨단 컴퓨터 제어 장치 (state-of-art computer control unit) 가 장착되어 있어 온도 프로파일과 설정 (setpoint) 을 사용자 정의하고 기계를 모니터링하고 작동 상태를 확인할 수 있습니다. AST AST 2900은 탁월한 온도 정확성과 반복성을 제공하는 고급 고속 열 프로세서입니다. 빠른 난방 및 냉각 속도, 정확한 가스 전달, 강력한 안전 도구를 갖추고 있습니다. 컴퓨터 제어 (computer control) 자산 덕분에 사용자는 고급 프로세스를 수용할 수 있는 매개변수를 유연하게 구성할 수 있습니다. MATTSON AST 2900은 반도체 프로세싱 및 epitaxial growth, dopant activation 및 annealing과 같은 고급 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.