판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #293820854
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STEAG/MATTSON/AST AST 2900은 반도체 제조에 일반적으로 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. AST 2900 은 업계에서 가장 까다로운 패키징, 웨이퍼 레벨, 3D 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 열 처리 기능을 제공합니다. 온도 균일성 및 넓은 온도 범위를 향상시켜 STEAG AST2900 (STEAG AST2900) 은 수율을 높이고 처리량을 개선하도록 설계되었습니다. STEAG/MATTSON/AST AST2900은 -60 ° C에서 1000 ° C 이상의 온도를 제공 할 수 있습니다. 이 장비에는 최대 600mm 웨이퍼를 신속하게 식별하고 처리 할 수있는 고급 웨이퍼 인식 시스템 (Advanced Wafer Recognition System) 이 장착되어 있습니다. 높은 열 성능과 빠른 웨이퍼 식별 (Quick Wafer Identification) 을 결합하여 MATTSON AST2900은 처리 시간을 단축하여 사용자가 효율성을 극대화할 수 있습니다. AST2900은 균일하고 반복 가능한 처리 결과를 위해 고급 열 균일성을 제공합니다. STEAG/MATTSON/AST 2900에는 듀오 (DUO) (Advanced Dynamic Unifority Optimization) 장치가 장착되어 있어 웨이퍼 가장자리에 온도를 조정할 수 있으며, 열 변화 감지 기계가 낮아 정시 측정의 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 이러한 기술은 전체 프로세스 전체에서 균일 한 웨이퍼 온도를 보장합니다. 또한 AST AST 2900 은 다양한 프로세스 레시피와 기능을 갖추고 있어 유연성이 뛰어납니다. 2900은 LED, 논리, 메모리 및 전원 장치를 처리하고 6 "~ 12" 의 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 병렬 처리 기능을 위해 여러 개의 독립 처리 챔버를 사용하여 공구를 구성할 수도 있습니다. 또한 AST AST2900 은 N2, O2, SF6, 헬륨 등 다양한 프로세스 가스와 호환되므로 다양한 처리 기능을 제공합니다. STEAG 2900 은 신뢰성 있고, 유연하며, 고급 자산으로, 반도체 업계의 요구를 충족시킬 수 있습니다. 다양한 기능과 고급 기능 (Advanced Features) 은 까다로운 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 탁월한 선택입니다. 온도 균일성, 빠른 성능, 유연한 구성을 갖춘 MATTSON AST 2900은 탁월한 선택입니다.
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