판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST AST 280 #293820847

소개: STEAG/MATTSON/AST AST 280은 실리콘 웨이퍼의 정확한 어닐링을 위해 반도체 제조에 사용되는 최첨단 빠른 열 처리 도구입니다. 이 고급 장비는 혁신적인 기술을 결합하여 고성능 열 처리 (thermal processing) 기능을 제공하여 반도체 장치 제작에 필수적인 요소입니다. 이 포괄적인 기술 개요는 STEAG/MATTSON/AST STEAG 280 Rapid Thermal Processor의 주요 기능, 작동 원칙 및 응용 프로그램을 설명합니다. 주요 특징: STEAG/MATTSON/AST MATTSON 280 고속 열 프로세서는 실리콘 웨이퍼의 빠르고 정확한 열 처리를 지원하는 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 이 장비의 두드러진 특징 중 하나는 고온 기능으로, 최대 1200 ° C의 온도를 처리할 수 있습니다. 이 넓은 온도 범위는 AST AST 280을 어닐링, 산화, 확산 등 다양한 열 프로세스에 적합하게 만듭니다. STEAG AST 280은 빠른 열 처리 (Rapid Heating) 및 냉각 시스템 (Cooling System) 을 통해 빠른 주기의 속도를 보장하는 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 효율은 고급 적외선 난방 기술 (Advanced Infrared Heating Technology) 을 사용하여 이루어지며, 이는 웨이퍼 표면에서 정확하고 균일 한 온도 분포를 제공합니다. AST 280의 빠른 열 어닐링 기능 (rapid thermal annealing capability) 은 도펀트의 활성화와 기존의 용광로에 비해 일부 시간에 결정 결함의 수리를 가능하게한다. 또한 STEAG/MATTSON/AST MATTSON AST 280은 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 열 처리 매개변수를 쉽게 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 제어 (control) 기능이 장착되어 있으므로 실시간 조정을 통해 최적의 처리 조건과 웨이퍼 품질을 보장할 수 있습니다. 또한 STEAG/MATTSON/AST AST 280에는 고급 안전 기능이 포함되어 운영 중 장비와 운영자를 모두 보호합니다. 작동 원리: AST AST 280 고속 열 프로세서는 빠른 열 어닐링 (rapid thermal annealing) 원리, 실리콘 웨이퍼의 도펀트 활성화 및 결정 결함 복구에 사용되는 프로세스에서 작동합니다. 기계 는 적외선 방사선 을 이용 하여 "웨이퍼 '를 원하는 온도 로 가열 시킨 다음, 급속 한 냉각 단계 로" 에너지' 를 안정화 시킨다. 빠른 가열 및 냉각 주기는 높은 정밀도로 제어되어 원하는 열 처리 (thermal treatment) 를 달성합니다. 작동 중 에 "실리콘 웨이퍼 '는 정밀 석영 이나 흑연" 서셉터' 에 적재 되는데, 이것 은 열 전달 매체 역할 을 한다. 그런 다음, 고강도 적외선 램프를 사용하여 서셉터를 가열하여 웨이퍼의 온도를 정점 (set point) 으로 빠르게 높입니다. 온도는 프로세스 전반에 걸쳐 모니터링 및 제어되어 균일 한 난방 및 정확한 열 처리를 보장합니다. 응용 프로그램: STEAG/MATTSON/AST STEAG 280 고속 열 프로세서는 정확한 열 처리가 중요한 광범위한 반도체 제조 응용 프로그램에서 사용됩니다. STEAG AST 280의 주요 응용 프로그램 중 하나는 빠른 열 어닐링 (rapid thermal annealing) 이며, 이는 반도체 장치의 제조 중에 실리콘 웨이퍼에 이식 된 도펀트를 활성화하는 데 사용됩니다. 신속한 열 어닐링은 장치 성능을 최적화하고 안정적인 작동을 보장하는 데 필수적입니다. 어닐링 외에도 AST 280은 산화, 확산 등 다른 열 과정에도 사용됩니다. 산화 과정에는 웨이퍼 표면에서 얇은 산화물 층의 성장이 포함되며, 확산 과정에는 실리콘 결정 (silicon crystal) 내에서 도펀트 원자의 제어 이동이 포함됩니다. 이 과정은 정확한 도핑 프로파일 (doping profile) 과 재료 특성을 가진 고급 반도체 장치 (advanced semiconductor device) 를 만드는 데 필수적입니다. 전반적으로 STEAG/MATTSON/AST MATTSON 280 고속 열 프로세서는 반도체 제조에서 중요한 역할을하는 다재다능하고 고성능 도구입니다.첨단 기능, 정확한 제어 기능, 그리고 효율적인 작동을 통해 최첨단 반도체 장치 제작에 없어서는 안 될 자산입니다 (영문).