판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST AST 280 #293651451

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급속열공정장비
제조사
STEAG / MATTSON / AST
모델
AST 280
ID: 293651451
빈티지: 2000
Rapid Thermal Processor (RTP) 2000 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST AST 280 Rapid Thermal Processor는 다양한 재료의 빠르고 정확하며 효율적인 처리를 위한 고성능 도구입니다. 정교한 소프트웨어 제어 시스템, 초고속 열 처리, 정밀 기판/웨이퍼 가열이 결합된 다기능 저비용 시스템입니다. AST AST 280은 RTH (Rapid Thermal Heating) 기술을 사용하여 기판 및 웨이퍼를 빠르고 정확하게 가열합니다. 이 RTH 프로세스는 기판 또는 웨이퍼가 균일하게 강화되도록 빠른 예열주기로 시작합니다. 그 다음 에 "펄스 '가열 (pulsed heating) 의 한 형태 가 나오는데, 이 가열 은 매우 정확 하게 조절 된 일련 의 단계 에서 기판 이나" 웨이퍼' 를 가열 하여 각 층 과 물질 을 최적 처리 에 필요 한 "에너지 '의 정확 한 양 으로 처리 할 수 있게 한다. STEAG AST 280의 각 단계에 대해 정확한 온도 프로파일을 지시하는 기능은 더 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 또한 AST 280에는 기판 또는 웨이퍼에서 수집한 지능형 피드백 (Intelligent feedback) 을 사용하여 각 사이클의 온도를 정확하게 제어하는 고급 제어 시스템 (High-End Control System) 이 장착되어 있습니다. 이것은 샘플의 표면과 두께에 걸쳐 우수한 균일 한 온도 수준을 제공합니다. 또한 "핫스팟 (hot spot)" 의 가능성을 제거하여 열 처리가 일관되고 신뢰할 수 있습니다. MATTSON AST 280에는 난방 주기 사이의 다운타임이 최소화되면서 반복 가능한 프로세스 단계를 지원하는 고급 제어 (Advanced Control) 알고리즘이 있습니다. 또한 기판 이나 "웨이퍼 '의 넓은 표면 을 가로질러 열분포 를 유지 하는 것 이 보장 된다. 빠른 시작 기능으로, 이 시스템은 원하는 온도에 도달하는 데 몇 분 정도 걸립니다. STEAG/MATTSON/AST AST 280은 반도체 및 사진 처리, 박막 증착 및 생화학 응용 분야를 포함하여 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 인쇄 회로 기판, "레이저 '및 기타 제품 의 제조 에도 사용 된다. AST AST 280은 인체 공학을 염두에 두고 설계되었으며, 작고 가벼운 디자인, 사용하기 쉬운 직관적인 사용자 인터페이스를 자랑합니다. 이 시스템은 유지 보수가 용이하여 산업용 (industrial) 과 교육용 (educational application) 모두에 적합한 선택입니다. 또한, 긴 선반 수명, 낮은 운영 비용으로 인해 연구 개발 실험실 (Research and Development Labs) 에 이상적인 선택이되었습니다.
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