판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9262640

STEAG/MATTSON/AST 3000은 고성능 어플리케이션을 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 적외선 램프 (infrared lamps) 와 핫 가스 (hot gase) 의 조합을 사용하여 기판 또는 기타 재료의 온도를 빠르게 높이고 낮추는 고급 열 처리 시스템입니다. AST 3000 (User 'S 3000) 을 사용하면 전통적인 방법에 의해 요구되는 시간 중 일부에서 다양한 온도를 얻을 수 있습니다. STEAG 3000은 콜드 존 챔버 (Cold Zone chamber) 와 핫 존 챔버 (Hot Zone chamber) 의 두 챔버로 구성된 독특한 구성으로 설계되었습니다. 장치의 상반부에 위치한 콜드 존 (Cold Zone) 챔버 (Cold Zone chamber) 는 난방 및 냉각을위한 활성 영역입니다. 약실에는 직접 가열을위한 IR 램프, 가스 흐름 시스템, 다양한 가스 혼합물, 극저온 냉각을위한 극저온 저장 장치 (cryogenic storage) 가 장착되어 있습니다. 장치의 하단에 위치한 핫 존 챔버 (Hot Zone chamber) 는 어닐링 및 열 처리 기판을위한 것입니다. 핫 존 챔버 (Hot Zone chamber) 는 열 내성 광학 창문과 함께 커튼과 같은 방사선 차폐 및 가열 요소를 호스팅합니다. 3000 의 소프트웨어에는 열처리를 명확하게 시각화할 수 있는, 사용자에게 친숙한 그래픽 컨트롤이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 온도 프로파일과 제어 매개변수를 효율적이고 반복적으로 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 MATTSON 3000에는 프로세스 매개변수의 포괄적인 특성화와 최적화를 지원하는 실시간 온도 모니터링 시스템 (real-time temperature monitoring system) 이 장착되어 있습니다. STEAG/MATTSON/AST 3000은 빠른 열 처리를 위한 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 "에너지 '는 전통적 인 방법 으로 요구 되는 얼마 의 시간 내 에 재료 를 처리 할 수 있으며, 난방 과 냉각 속도 를 정확 하고, 반복 하여 제어 할 수 있도록 설계 되었다. 이 고급 도구 (Advanced Tool) 는 웨퍼 (Wafer) 및 기타 기판을 극한의 온도 변이로 처리할 수 있는 빠르고 안정적인 방법을 제공합니다.