판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9224637

STEAG/MATTSON/AST 3000은 높은 반복성과 정밀도로 반도체 웨이퍼를 처리하는 데 사용되는 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 이 고급 시스템은 고품질, 신뢰성 있는 집적 회로 (IC) 를 제조할 수 있도록 설계되었으며, 가장 하이라이컴플렉스 (highycomplex) 장치조차도 처리하기에 적합합니다. 이 RTP는 난방, 온도 컨트롤러, 로드 및 언로드 스테이션, 보호 케이스, 웨이퍼 전송 로봇, 웨이퍼 척 등 여러 주요 구성 요소로 구성됩니다. AST 3000의 1 차 난방 챔버는 우수한 열 안정성 및 균일 한 온도 분포를 위해 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 온도 범위는 -70 ° C ~ 1000 ° C이며 난방 속도는 최대 200 ° C/초입니다. RTP 는 운영/유지 보수 인력의 안전을 보장하기 위해 자체 보호 캐비닛으로 폐쇄됩니다. 온도 컨트롤러는 챔버 온도 프로파일 (chamber temperature profile) 을 정확하게 조절하고 단일 실행에서 여러 램프 온도를 실행하도록 프로그래밍됩니다. 이 프로세서는 LED 디스플레이와 전체 QWERTY 키보드 (입력 명령) 를 사용하여 작동이 쉽고 직관적입니다. 또한 이 컨트롤러에는 냉각 및 공정 "가스 '흐름 센서가 장착되어 있어 정확하고 안정적인 성능을 제공합니다. STEAG 3000은 난방 및 냉각 요소 외에도 웨이퍼 로딩 및 언로딩을위한 로봇 암 (robotic arm) 을 갖추고 있습니다. 이 팔 은 "웨이퍼 '를 저장" 트레이' 에서 "웨이퍼 척 '으로 이동 시키도록" 프로그램' 되어 있다. 웨이퍼 척 (Wafer Chuck) 은 빠른 열 처리 동안 안전한 웨이퍼 처리, 지원 및 정렬 기능을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 여분의 보호를 위해, 웨이퍼는 습도 및 입자 장벽으로 기능하는 환기 덮개 (ventilated lid) 로 더욱 확보됩니다. MATTSON 3000은 효율성과 안정성을 극대화하기 위해 설계된 고급 RTP 시스템입니다. 견고한 구조는 균일 한 난방, 냉각 및 웨이퍼 처리를 보장하며, 고품질 IC 제조를 원하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.