판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9127893
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ID: 9127893
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Rapid Thermal Processing (RTP) systems, 12"
Type: Wet type
2007 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 3000 (신속 열 프로세서) 은 산업 및 연구 및 개발 응용 프로그램 모두에서 제조 공정 제품에 대한 온도 프로파일을 정확하게 제어하도록 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 프로세서 장비는 향상된 성능 및 열 처리 (thermal process) 제어 기능을 제공하여 프로세스 시간 단축과 온도 범위 (temperature range) 를 최대 21개까지 프로그래밍할 수 있는 정밀한 온도 프로파일을 제공합니다. 이 시스템은 분산 (Distributed) 및 선택적 (Selective) 가열을 모두 포함하는 열 부츠와 용광로를 사용하여 다양한 산업 공정에서 필요한 온도 프로파일을 정확하게 제어합니다. 또한 프로그래밍 가능한 제어 로직 (control logic) 을 활용하여 여러 영역에서 개별 온도를 스캔, 프로파일 지정, 분석할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 경보 보호 기능과 프로세스 모니터링을 위한 이벤트 로깅을 제공합니다. 또한 다중 작업 (multi-task) 및 다중 영역 (multi-zone) 프로그래밍을 갖춘 고급 프로세스 관리 머신이 포함되어 있으며, 최대 20 개의 프로세스를 병렬로 실행할 수 있습니다. 이 프로세서는 또한 고급 가스 냉각 (Advanced Gas Cooling), 고속 램프 (High Speed Ramping), 동적 트립 제어 (Dynamic Trip Control) 등 안전성과 성능을 향상시키도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 이를 통해 열 공정 (thermal process) 에서 더 큰 정확성과 제어가 가능하며, 안전성도 향상됩니다. 추가 안전 기능에는 높은 수준의 인터 록 (interlock) 을 갖춘 통합 제어 도구 (Electric Shock 및 조기 장애 방지) 가 포함됩니다. 또한, 이 자산에는 프로세스 시각화 (process visualization) 및 데이터 입수 (data acquisition) 를 제공하는 다양한 그래픽 프로그램이 제공되며, 이를 통해 사용자는 프로세서 모델의 온도 프로파일과 활동을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용 중인 열 프로세스 (thermal process) 에 대한 포괄적인 그림을 제공하여 프로세스 제어를 강화할 수 있습니다. AST 3000은 산업 및 연구 및 개발 응용 프로그램 모두에 이상적인 솔루션입니다. 정밀 제어, 프로세스 시간 단축, 안전 향상, 시각적 모니터링 기능 향상 등 다양한 업종에 적합한 솔루션을 제공합니다 (영문).
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