판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095995

STEAG/MATTSON/AST 3000은 반도체 웨이퍼 치료를위한 빠른 열 프로세서 (RTP) 장비입니다. 이 다재다능한 시스템은 성공적인 이온 이식 및 다양한 반도체 및 광전자 응용 프로그램 (optoelectronic application) 을 위해 고도로 균일 한 온도 조절 및 정확하게 조작 된 열 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 생산을위한 베이스라인 프로세스 개발에 적합하며, RTA (Rapid Thermal Annealing) 를위한 정확한 온도 환경과 심하게 도핑 된 실리콘 재료의 용광로 어닐링 (Furnace Annealing) 을 보장합니다. 이 기계는 다양한 온도에서 고속 난방 및 냉각 기능을 제공합니다. 회전 서셉터 (rotating susceptor) 를 사용하면 샘플 내의 균일 한 열 분포가 보장됩니다. 최대 1150 ° C의 온도를 유지할 수 있습니다. 온도 균일성은 +/- 2 ° C에서 유지되며 웨이퍼의 상단, 중간 및 하단 서피스에서 측정됩니다. 이 툴은 또한 실시간 모니터링 및 제어를 통해 신속한 응답 시간을 보장합니다. 전반적으로, AST 3000은 생산 및 개발 프로세스에 대한 포괄적인 열 처리 기능을 제공합니다. 정밀 온도 조절을 위한 신뢰성 있는 전자제품뿐만 아니라, 유지보수 편의성을 보장하도록 설계된 견고한 챔버 (Sturdy Chamber) 구조가 특징입니다. 다양한 환경, 프로세스 레시피 (레시피) 와의 호환성으로 인해 연구 실험실과 처리 센터 모두에게 자산이 매력적입니다. 이 모델은 특허 받은 소프트웨어 알고리즘 (Software Algorithm) 에 의해 고급 온도 보상을 제공하고 전체 웨이퍼에 대한 균일성과 정확성을 유지하는 것으로, STEAG 3000 에는 3 년 무상수리 서비스가 제공되며 원격 컴퓨터 인터페이스와 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 공장 자동화 시스템 (factory automation systems) 과 완벽하게 통합되고, 로컬/원격으로 장비에 액세스할 수 있습니다. 또한 RTP 는 진단 (diagnostics) 및 장애 관리 (fault management) 기능을 갖추고 있어 필요할 때 쉽게 확인, 진단 및 조치를 수행할 수 있습니다. 전체적으로 MATTSON 3000은 광범위한 반도체 및 광전자 어플리케이션을위한 고급 빠른 열 프로세서입니다. 견고한 설계, 정확한 온도 조절, 실시간 모니터링, 제어, 다양한 환경과의 호환성을 통해 운영/개발 프로세스를 위한 매력적인 옵션을 제공합니다.