판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095994

STEAG/MATTSON/AST 3000은 짧은 주기에서 안정적인 처리 결과를 제공하기 위해 설계된 고급 빠른 열 프로세서입니다. 높은 온도, 높은 전력 가열 용량을 특징으로하며 10 초 이내에 3 개의 150mm 웨이퍼 캐리어를 1100 ° C의 온도로 가열 할 수 있습니다. 대형 웨이퍼 (wafer) 표면적을 사용하면 매우 균질한 가열 효과가 발생하며, 최신 빠른 "쿨 다운 (cool down)" 기술을 사용하면 프로세스에서 프로세스까지 빠른 처리 시간을 유지할 수 있습니다. 이 고급 고속 열 프로세서는 3 개의 영역을 사용합니다. 고온, 중온, 저온 챔버 시스템 (Low Temper Chamber System) 은 온도와 온도 길이도 제공하도록 설계되어 난방 기능의 신뢰성과 정확도를 더욱 향상시킵니다. 낮은 드리프트 (drift) 와 낮은 열 구배 (thermal gradient) 는 부품이 원하는 온도와 정확하게 가열되도록 합니다. 또한 AST 3000 은 고온, 고출력 처리 기능 외에도 프로세스 모니터링 (process monitoring) 기능을 제공하여 프로세스 온도 및 시간을 매우 정확한 수준으로 제어합니다. 또한 정확한 시간 온도 모니터 (time-temperature monitor) 를 통해 사용자는 각 프로세스와 관련된 시간 온도 데이터에 영향을 줄 수 있습니다. 또한, 이 장치는 미리 프로그래밍된 프로세스 중에 사용할 수 있도록 최대 999 개의 스크립트를 프로그래밍할 수 있는 기능을 제공합니다. STEAG 3000 의 견고한 설계는 유지 보수 요구 사항이 낮아 안정성이 높습니다. 스테인리스 스틸 처리 챔버 (stainless steel processing chamber) 는 부식 및 마모성이며, 장치는 프로세스 플러싱 또는 물 재순환이 필요하지 않습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 LCD 터치 스크린 디스플레이를 통해 빠른 열 프로세서의 상태와 설정을 명확하게 모니터링할 수 있으며, 빠르고 간편한 데이터 입력, 조작, 저장을 위한 다양한 기능을 제공합니다. 또한 MATTSON 3000에는 Door Interlock, Wafer Carrier Interlock, 과열 Interlock, 과압 경고 등과 같은 안전 관련 기능이 장착되어 있습니다. 즉, 중요한 작업을 수행할 때 장비가 안정적이고 안정적으로 유지될 수 있도록 운영자에게 안심할 수 있습니다. 전반적으로, 3000 (3000) 은 현대 산업 생산의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 고속 열 프로세서입니다. 공정 모니터링 기능, 사용자 친화적 LCD 터치 스크린 디스플레이, 높은 신뢰성 및 안전 관련 기능과 함께 고온, 고출력 난방 기능 (HPP) 을 결합하여 모든 생산 환경에서 매력적인 장치입니다.