판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293814736

STEAG/MATTSON/AST 3000은 생산 수준 반도체 장치 제조를 위해 특별히 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 처리 (processed) 디바이스의 품질을 유지하면서 주기 시간을 최대한 단축하도록 설계되었습니다. AST 3000 은 성능 저하 없이 높은 처리량 (throughput) 요구 사항을 충족하기 위해 기판 재료를 빠르고 정확하게 가열하고 냉각하도록 설계된 사전 조절 챔버 (pre-conditioning chamber) 를 사용합니다. 기계는 기판을 최대 1250C 온도까지 가열하여 기기 (device creating) 에 필요한 반응을 제대로 자극할 수 있습니다. STEAG 3000은 긴 주기 시간으로 인한 장치 손상을 최소화하기 위해 고온 환경을 사용합니다. 이것은 다중 세그먼트 열 프로그램 (multi-segment thermal program) 을 사용하여 열 프로파일을 프로세스에 필요한 정확한 온도로 지속적으로 미세 조정함으로써 수행됩니다. 온도 제어기는 또한 열 과잉 (thermal overkill) 으로 인한 기질의 증착 또는 산화를 방지합니다. 3000 은 이중 RF 전원을 사용하며, 두 주파수 사이를 빠르게 전환하여 최대 수준의 열통일성을 제공합니다. 또한 MATTSON 3000 은 내장된 프로세스 모니터링 시스템 (process monitoring system) 을 통해 각 기판의 상태를 지속적으로 검사하여 처리량을 극대화할 수 있습니다. 여기에는 전체 프로세스 동안 기판 온도, 가스 흐름 및 압력에 대한 지속적인 모니터링이 포함됩니다. 이 시스템에는 고밀도 도량형 (High Precision Metrology) 도구가 포함되어 있어 원하는 프로세스 결과를 충족할 수 있습니다. STEAG/MATTSON/AST 3000에는 다양한 시스템 간에 프로세스 레시피를 쉽게 전송할 수있는 다양한 사용자 프로그래밍 가능한 옵션이 제공됩니다. 이를 통해 여러 프로세스 레시피를 사용할 수 있으며, 여러 시스템에서 프로세스 반복성을 보장할 수 있습니다. 또한, AST 3000에는 질소, 헬륨, 염소를 분리하는 등 다양한 에지 격리 옵션이 장착 될 수 있으며, 이는 높은 생산 수율을 보장하도록 설계되었습니다. 전반적으로 STEAG 3000은 강력하고, 안정적이며, 효율적인 빠른 열 프로세서로, 생산 수준의 반도체 장치 제조에 적합합니다. 사용이 간편한 사용자 인터페이스와 최고의 성능/출력을 위한 맞춤형 프로세스 레시피 (process recipe) 를 제공합니다. 온도 조절 (Temperature Control) 및 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 을 포함한 많은 기능을 통해 바쁜 반도체 제조업체에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.