판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293621528

STEAG/MATTSON/AST 3000은 모든 크기의 기판을 효율적이고 균일하게 가열하는 데 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. 이 장치는 최대 1000 ° C의 온도 범위, +/- 1 ° C의 온도 균일 성 및 최대 10 ° C/초의 가열 속도를 특징으로하는 4 구역 고속 열 프로세서입니다. 이 장치는 고온과 균일성, 짧은 프로그래밍 시간, 유연성의 조합을 통해 열 처리에 대한 효과적인 접근 방식을 제공합니다. AST 3000 의 4 개 영역 (zone) 설계를 통해 서로 다른 zone 을 독립적으로 또는 결합하여 가열하여 디바이스의 유연성을 높일 수 있습니다. 상단 및 하단 열 헤드 (thermal head) 에는 제어 시스템에 피드백을 제공하는 온도 감지 요소 (tempersing elements) 가 포함되어 있어 온도를 정확하게 유지 및 모니터링할 수 있습니다. 수직 챔버 (vertical chamber) 에는 불활성 옵션을 포함하여 광범위한 대기층을 허용하는 질소 퍼지 포트 (nitrogen purge port) 가 장착되어 있습니다. 용광로 환경의 옵션을 제공하는 선택적 히터를 사용할 수 있습니다. 고급 프로브 (probe) 와 센서 (sensor) 를 정교한 제어 시스템과 함께 사용하면 매우 정확하고, 재현 가능하며, 균일 한 열 처리가 가능합니다. 이 빠른 열 프로세서 (Rapid Thermal Processor) 는 온도, 속도, 온도 지속 시간, 비활성 대기 처리 프로그램에 대한 다른 사용자 정의 프로세스 및 공기 압력 (Air Pressure) 을 포함한 다양한 매개변수를 갖춘 직관적인 연산자 인터페이스도 갖추고 있습니다. STEAG 3000 은 손쉽게 터치스크린 컨트롤러를 사용할 수 있으며, 이를 통해 다양한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 직관적인 제어 시스템은 복잡한 고온 프로세스 실행, 여러 프로세스 매개변수 제어, 데이터 로깅 (data logging) 및 프로세스 최적화 (process optimization) 기능을 제공합니다. 전반적으로 MATTSON 3000 기능은 기판의 빠르고, 균일하고, 고온 가열이 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다. 이 다재다능한 장치는 정밀 열 처리를 제공하도록 설계되었으며, 탁월한 재현성과 유연성을 제공합니다.