판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293615440

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사진 사용됨 STEAG / MATTSON / AST 3000 판매용
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급속열공정장비
제조사
STEAG / MATTSON / AST
모델
3000
ID: 293615440
Rapid Thermal Processor (RTP), 8"-12" (2) FOUPs (3) Cassettes, 8" (2) Combined and integrated SMIF, 8"-12" (3) Side panels (3) Upper quartz plates (2) Linear plates (8) Gas distributors (4) Air bearings (2) Roter, 12" Ring carrier, 8" Rotor plate, 8" Rotor, 8" Ring deflection frame Chamber U, Q, P Static with ring tilt Blower: 0.93 m² Pyro chiller SIEMENS DC Power supply, 24 V Process module Power control module: 1.04 m² Computer electronics Footprint, 4.19 m² Rack Da-Karte HDD CPU MUX-DAC-DSP PyRi-PCC Netzteil 2x15V Netzteil 5V Netzteil ±12V/5V Netzteilter C64-Busplatine ISA 36 Bus 3 Slot Wafer handler module: I/O Controller Distribution box Gas cabinet: Pressure: 6 Bars Purity N2: >99.9999% Purity O2: >99.9999% Gas / Flow rate: O2 / Ar / 50 SLM NH3 / 30 SLM H2 / - O2 / 5 SLM O2 / 60 SLM N2O / 30 SLM N2 / 100 SLM Missing parts: Robot Aligner Pyrometer Control Oxygen sensor PCU Parts PWM / POD boards.
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STEAG/MATTSON/AST 3000은 정밀하고 정확한 열 관리 프로세스를 위해 최고 수준의 성능을 제공하는 빠른 열 프로세서입니다. 이 프로세서는 다양한 응용프로그램의 요구 사항을 충족할 수 있도록 높은 정확도, 고속 열 처리 (high-accuracy, high-speed thermal processing) 를 위해 설계되었습니다. 다중 온도 영역, 고해상도 열 흐름 모니터링, 정확한 온도 조절 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). 모든 응용 프로그램에 맞게 수동 (manual) 모드와 자동 (automatic) 모드 모두에서 프로세서를 제어할 수 있습니다. 온도 영역 (temperature zone) 은 온도 조절 (temperature control) 이 정확한 응용 프로그램의 요구에 따라 프로그래밍될 수 있으므로 열 과정 전반에 걸쳐 정확한 온도가 유지됩니다. 프로세서에는 또한 고해상도 열 흐름 모니터링 시스템 (heat flow monitoring system) 이 있어 시스템 내에서 열 흐름을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 프로세서는 견고한 설계를 통해 혹독한 환경에서 작동할 수 있습니다. 그것 은 금속 과 "플라스틱 '을 포함 하여 여러 가지 재료 로 작용 할 수 있으며, 이러 한 재료 들 에서 정확 한 열 처리 를 한다. 프로세서는 또한 최적화된 열 전달 시스템 (heat transfer system) 과 큰 냉각 용량 (cooling capacity) 을 가지고 있으므로 재료가 적절한 온도에서 처리됩니다. AST 3000 은 다양한 열 공정에서 높은 수준의 정확도와 정확도를 제공합니다. 프로세서는 또한 비용 효율적이며, 광범위한 어플리케이션에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 프로세서는 금속, 플라스틱, 반도체 장치의 열 처리를 포함한 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 프로세서는 또한 제품 제조 (manufacturing) 에서 재료 처리에 이상적이며, 최고 수준의 정확도가 유지되도록 합니다. STEAG 3000 은 정확하고 정확한 열 처리가 필요한 다양한 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 이 프로세서는 정확하고 정확한 열 관리 (thermal management) 프로세스를 제공하도록 설계되어 다양한 어플리케이션에서 최고 수준의 성능을 제공합니다. 프로세서는 또한 비용 효율적이며, 광범위한 어플리케이션에 이상적인 솔루션을 제공합니다.
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