판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 plus #9281776

STEAG/MATTSON/AST 3000 plus는 실온에서 1500-C까지의 온도를 조합하여 사용하는 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 기술은 미리 정해진 온도 및 시간 (time scale) 에서 열 처리를 할 수 있으므로 반도체 장치 제작에 사용됩니다. 이 RTP는 모듈식 접근 방식을 채택했으며 Advanced Process Control (고급 프로세스 제어), 견고한 열 챔버, 효율적인 대류 시스템 등 3 가지 구성 요소로 구성됩니다. 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 를 사용하면 정확한 온도 프로그램을 프로그래밍하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 짧은 샘플 처리 시간 (sample processing time) 에서 정확한 온도 측정을 제공하고, 샘플에서 잔류 응력을 최소화하며, 열 정확도가 높기 때문에 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 강력한 열 챔버 (thermal chamber) 는 큰 고성능 난방 존 (heating zone) 으로 구성되며, 이동식 벽은 균일한 열 처리를 보장하며, 상호 연결된 부품은 넓은 온도 범위에서 프로세스 제어 기능을 프로그래밍할 수 있습니다. 마지막으로, 효율적인 대류 시스템을 사용하면 모션 아티팩트 (motion artifact) 를 도입하지 않고 고온에서 빠른 열 프로세스가 발생할 수 있습니다. AST 3000 + 는 매우 정확하고 일관된 높은 처리 성능을 제공합니다. 이 장치의 수용 온도 범위를 사용하면 웨이퍼 증착/에칭, 장치 제작, ALD/CVD 프로세스와 같은 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 고속 프로세싱 (high rate processing) 과 향상된 열 시스템과 함께, 이 RTP는 정확하고 반복 가능한 열 처리 (thermal processing) 가 필요한 모든 조직에 완벽한 선택이 됩니다. 게다가, 이 장치 는 "오퍼레이터 '안전성 을 손상 시키지 않고 장기간 고온 을 유지 할 수 있다.