판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 3000 Plus #293821686

STEAG/MATTSON/AST 3000 Plus는 반도체 제조에서 고온 응용을 위해 설계된 최첨단 빠른 열 처리 장비입니다. 첨단 기능, 정확한 제어 기능을 갖춘 이 툴은 차세대 집적 회로 (integrated circuit) 와 엄격한 열 처리 조건이 필요한 다른 반도체 (semiconductor) 디바이스의 생산에 적합합니다. AST 3000 Plus의 핵심은 혁신적인 난방 기술로, 빠르고 균일 한 온도 증가 및 냉각 속도를 가능하게합니다. 이것 은 "와퍼 '표면 전체 에 걸쳐 정확 한 온도 조절 을 보장 하는 정교 한 열 관리" 시스템' 과 함께 복사 및 대류 가열 요소 의 결합 을 통해 이루어진다. STEAG 3000 Plus 의 주요 특징 중 하나는 다양한 프로세스 가스 및 주변 조건을 수용하는 유연성입니다. 이 시스템에는 비활성 가스, 도펀트 전구체, 표면 변형 및 산화물 성장 공정을 위해 반응성 가스 (reactive gase) 를 포함하여 광범위한 공정 가스를 지원하는 포괄적 인 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 가 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구는 다양한 반도체 처리 응용 프로그램의 요구 사항을 충족시키기 위해 통제 된 대기 및 진공 조건에서 작동 할 수 있습니다. 3000 Plus에는 고급 프로세스 모니터링 및 레시피 관리 기능을 제공하는 최첨단 제어 머신이 장착되어 있습니다. 이 도구는 온도, 압력, 가스 흐름 속도, 램프 속도 (ramp rate) 와 같은 중요한 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 제어할 수 있습니다. 공정 레시피 (process recipe) 는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 쉽게 프로그래밍 및 수정할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 열 처리 조건을 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, MATTSON 3000 Plus는 고급 안전 기능을 통합하여 반도체 웨이퍼와 자산 운영 인력의 무결성을 보장합니다. 이 도구에는 무단 액세스를 방지하고 과압, 과압, 가스 누출과 관련된 위험을 완화시키는 다중 연동 시스템 (Multiple Interlock System) 이 장착되어 있습니다. 또한, 이 모델은 안전 (Safety) 및 환경 보호 (Environmental Protection) 에 대한 업계 표준을 준수하도록 설계되었으며, 반도체 제조 시설을 위한 안정적이고 호환 가능한 도구입니다. 성능 측면에서 STEAG/MATTSON/AST 3000 Plus는 신속한 열 처리 애플리케이션을 위한 업계 최고의 기능을 제공합니다. 이 장비는 고급 반도체 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하는 온도 균일성 (temperity) 수준으로 높은 난방 속도와 냉각 속도를 달성 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 어닐링 (annealing), 산화 (oxidation), 확산 (diffusion) 및 기타 표면 수정 기술과 같은 중요한 열 프로세스를 정확하게 제어하여 장치 성능 및 수율을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로, AST 3000 Plus는 반도체 제조 응용 분야를위한 최첨단 빠른 열 처리 솔루션을 나타냅니다. 첨단 난방 기술, 유연한 가스 전달 시스템, 포괄적인 공정 제어 기능, 안전 기능, 고성능 특성 등을 갖춘 이 툴은 최첨단 반도체 (CE-Edge) 장치로, 정밀한 열 처리 조건을 필요로 합니다.