판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9278283

SteamSTEAG/MATTSON/AST 2900은 초정밀 열 사이클링 및 매우 낮은 주기 시간에 빠른 온도 램프를 제공하는 빠른 열 처리 도구입니다. 이 장비는 1 ° C의 정확도를 유지하면서 3 ~ 10 초 안에 200 ~ 1000 ° C의 설정 점에 도달 할 수 있습니다. 이를 통해 전통적인 용광로 (furnace) 나 오븐 (oven) 시스템에서 거의 불가능한 정확한 온도 프로파일 교정 및 제어가 가능합니다. 이 시스템은 분자 빔 에피 택시, 금속 화학 증기 증착, 재료 연구, 반도체 상호 연결 및 고급 금속 절연체-금속 상호 연결과 같은 RTP 응용 분야에 이상적입니다. SteamAST 2900 (SteamAST 2900) 은 고급 PID 곡선 학습 알고리즘을 사용하여 최적의 온도 경사 시간을 계획하고 주어진 온도에서 초저주기 속도를 제공합니다. 고급 제어 장치는 프로세스 전반에 걸쳐 최대 온도 안정성과 정확성을 제공합니다. 이 에 더하여, 기계 에는 수소, 질소, "아르곤 '등 여러 가지" 가스' 에 대해 구성 할 수 있는, 최대 3 개 의 통로 를 갖춘 독립 "가스 '전달 도구 가 갖추어져 있다. 제어 자산은 또한 가스 흐름 (gas flow) 과 압력 (pressure) 을 매우 잘 튜닝 할 수 있습니다. SteamSTEAG 2900의 열 사이클링은 하드웨어 수정 또는 포스트 프로세스 엔지니어링이 필요하지 않습니다. 이 모델은 자동화된 프로세스 (automated process) 를 사용하여 프로세스의 사용자 사양을 가장 잘 충족하는 온도 프로파일을 생성합니다. 이 장비는 또한 고급 핫 존 (hot zone) 설계 덕분에 프로세스 전반에 걸쳐 뛰어난 온도 균일성을 제공합니다. 이 시스템은 또한 온도 프로파일 (temperature profile) 을 프로세스 진행과 다른 데이터 포인트 (예: 가스 흐름 속도) 를 통해 그래픽으로 표현하는 인상적인 디스플레이 화면 (explay screen) 을 제공합니다. 또한 주요 데이터 포인트의 실시간 분석, 그래픽/통계 분석 도구, 결과 저장/공유 기능 등 고급 사후 처리 기능도 제공합니다 (영문). 전반적으로 Steam2900 (Steam2900) 은 강력한 고속 열 프로세서로, 뛰어난 온도 안정성, 정확성, 초고속 사이클 시간, 사용자 친화적 기능을 제공하여 반도체 및 태양 광 장치 생산에 이상적인 도구입니다.