판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9224563

STEAG/MATTSON/AST 2900은 프로세스 개발 및 성능을 최적화하기 위해 설계된 고급 빠른 열 처리 장비 (RTP) 입니다. RTA (Rapid Thermal Annealing) 와 RTO (Rapid Thermal Oxidation) 의 2 단계 프로세스를 통해 사용자는 처리 매개변수를 빠르게 제어하고 프로세스를 최적화할 수있는 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics), 전자 포장 (electronic packaging) 및 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 와 관련된 다양한 전문 프로세스에서 상업용, 프로토 타입 및 연구 응용 프로그램에 적합합니다. AST 2900 은 강력한 처리 능력 (Processing Power) 과 속도 (Speed) 를 활용하여 매개변수를 빠르게 조정하고 처리 작업을 효율적으로 완료할 수 있습니다. 장치의 TPA 온도 챔버는 온도 균일성과 유연성을 위해 설계되었습니다. 최대 150 ° C/sec의 조절 가능한 가열 속도를 가지며 최대 1000 ° C의 온도에서 빠른 열 어닐링 (RTA) 또는 빠른 열 산화 (RTO) 를 수행 할 수 있습니다. 온도 챔버의 균일 대비는 -1.125 ° C이고 온도 균일 (TU) 은 2.25 ° C 이상입니다. 이 기계는 폐쇄 루프 가스 분석 장치를 사용하여 빠른 열 산화 (RTO) 에 필요한 산소 유입을 감지하고 조정합니다. 이 독립적 인 열 및 가스 흐름 제어 도구는 산소/질소 처리량을 줄여 원하는 소비 수준으로의 가스 (off-gassing) 를 최소화하여 TOX 및 RTO 요구 사항을 정확하게 파악하는 데 이상적입니다. STEAG 2900의 빠른 열 처리 기능은 프로그램 가능한 프로세스 및 퍼니스 제어 매개 변수 (정적 압력 제어, 고압 가스 제어, 온도, 가스 흐름, 암페어/전원 제어, 주파수 제어) 로 더욱 보완됩니다. 이러한 다양한 제어 옵션을 통해 사용자는 프로세스를 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 또한 고급 데이터 로깅 (advanced data logging) 및 그래프 (graphing) 기능을 제공하며, 초기 단계에서 모델 성능을 모니터링하고 프로세스 이상을 감지하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적인 GUI (Graphical User Interface) 는 RTP 프로세스를 실시간으로 모니터링하여 빠르고 효과적인 진단 기능을 제공합니다. 전반적으로, 2900은 효율적이고 안정적인 빠른 열 프로세서로, 고급 프로토 타입 개발, 프로세스 설계, 상업용 생산 요구 사항에 적합합니다. 다양한 고급 프로세스 제어 설정, 온도 균일성 (temperity uniformity), 산소 유입 조정 (oxygen influx adjustment) 및 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 사용자가 최적의 결과를 위해 프로세스를 효율적으로 최적화할 수 있습니다.