판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9182434

STEAG/MATTSON/AST 2900 빠른 열 프로세서 (RTP) 는 다양한 고온 프로세스에 사용하도록 설계된 고급 고온 처리 도구입니다. RTP는 300 ° C ~ 1200 ° C (특정 모델에 따라 다름) 의 온도 범위를 빠르게 달성 할 수 있으며 최대 램프 속도는 300 ° C/초입니다. 이 시스템은 4 가지 주요 구성 요소 (컨베이어, 퍼니스 난로, 열 프로세서 및 냉각 스테이션) 로 구성됩니다. RTP 컨베이어는 다양한 기판 크기를 수용하도록 설계되었으며, 비표준 기판을 수용할 수 있는 맞춤형 (custom) 디자인이 제공됩니다. 컨베이어는 RTP 열 프로파일을 통해 재료를 전송하는 신뢰할 수 있고 반복 가능한 방법을 제공합니다. 컨베이어의 동작은 속도, 가속/감속 및 방향에 대한 조정 가능한 설정을 가진 닫힌 루프 (closed-loop) 마이크로 프로세서를 통해 제어됩니다. 최대 벨트 속도는 630mm/초 이상입니다. 44 "긴 용광로 난로는 다양한 크기의 여러 기질을 보유 할 수 있으며, 내부 절연 3" 의 수냉식 석영 튜브 내에 수용됩니다. 온도가 높아지고 낮아지면, 난로 안에 난로와 기질이 동봉됩니다. 용광로는 300 ° C ~ 1200 ° C의 온도 범위를 달성하며 +/- 1 ° C의 정확도를 가지며 최대 300 ° C/초의 빠른 온도 램프를 달성 할 수 있습니다. RTP 열 프로세서에는 3 개의 독립적 인 제어 루프가 장착되어 있습니다. 각 루프는 온도, 적신 시간, 램프 속도와 같은 자체 매개변수의 제어를 유지합니다. 3 개의 제어 루프는 병렬로 작동하며, 각 기판 크기 및 프로세스에 대해 개별적으로 조정 할 수 있습니다. RTP (Adjustable DWell Time, Pre-Purge Atmosphere, Trim Atmosphere) 를 통해 다양한 온도 프로파일을 사용할 수 있으므로 다양한 어플리케이션에 적합한 다양한 구성을 사용할 수 있습니다. 마지막으로, 냉각소 (cooling station) 는 RTP에서 배출되기 전에 재료를 안전하고 적절한 취급 온도로 식히도록 설계되었습니다. 냉각 속도 (cooling rate) 는 조정이 가능하므로 특정 응용 프로그램에 맞게 다양한 냉각 프로파일을 사용할 수 있습니다. 결론적으로, AST 2900 Rapid Thermal Processor는 다양한 고온 프로세스에 적합한 구성, 안정성, 반복 가능한 처리 도구입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 온도 범위 (Temperature Range) 를 통해 다양한 제조 어플리케이션에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.