판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800E #9103115

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급속열공정장비
제조사
STEAG / MATTSON / AST
모델
2800E
ID: 9103115
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1994
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" Single chamber (2) Loaders (2) Unloaders DC Power supply output stability: < 0.2 % at main power Open cassette, 8" Cassette rotate: Load / Unload position disable Wafer transfer: EQUIPE Robot Flat aligner: EQUIPE Aligner Operator panel: Touch screen LCD, 12" Operating system: Windows NT Process temperature range: 550°C ~ 1150°C Temperature reading sensor: Pyrometer O2 Contamination measurement sensor Gas lines: N2 (30 slm) O2 (500 sccm) Ar (10 slm) NH3 (10 slm) Air valve MFC Filter Regulator Signal tower Power supply: 208 VAC ±6%, 125 Amp, 3 Phase + PE 43 kVA 1994 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST 2800E RTP (Rapid Thermal Processor) 는 다양한 패키지 장치를 개발하고 테스트하기위한 원스톱 열 처리 솔루션입니다. 광범위한 공정 온도 (200 ~ 1000 ° C), 빠른 주기 시간 (3 초 이하), 강력한 온도 조절 기능을 갖춘 이 장비는 안정성과 일관된 성능을 제공합니다. RTP는 2 개의 독립적 인 온도 영역, PLC 제어 시스템 및 자동 레시피 선택 기능이있는 직관적 인 소프트웨어를 갖춘 사용 편의성을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 CSA 인증을 받았으며 SEMI E63 및 E77 표준을 준수합니다. 이 기계의 모듈 식 디자인은 다음을 포함하여 매우 다양한 응용 프로그램에 이상적입니다. RTP-LIN 최대 1000 ° C; 프로세스 최적화 및 디버깅; HTOL 전기 열 스트레스 테스트 (HTEST); OTA 연구; EMISS/CIS 테스트, 그리고 다이 투 다이 상호 연결. 직관적인 사용자 인터페이스, 모든 매개변수에 대한 전체 모니터링, 유연한 프로그래밍 기능을 갖춘 LED 디스플레이는 사용자에게 실시간 모니터링/제어 기능을 제공합니다. RTP 는 다양한 구성 옵션 (예: 웨이퍼 크기, 다양한 프로세스 챔버, 자동 로드/언로드 시스템) 에 맞게 조정할 수 있습니다. 통합 진공 펌프 메커니즘은 최대 1000 ° C의 공정 온도를 가능하게합니다. RTP는 특허를받은 "올인원 (all-in-one)" 대류 재킷으로 제작되었으며, 내부 온도 프로파일은 기존의 제한된 챔버 디자인과 매우 균질합니다. 이 임계 공동 (critical cavity) 을 사용하면 전체 웨이퍼에서 0.25 ° C 미만의 온도 변화를 보장합니다. "RTP '는 또한" 이온' 입자 와 물 로 인한 오염 을 피하기 위한 고급 전기 청소 도구 를 갖추고 있다. 배기 에셋은 자동 ex-filtration 및 A/C 콘덴서 분리를 특징으로합니다. RTP에는 "드라이 전용 (dry-only)" 보호가 장착되어 액체 냉각의 사용을 방지합니다. RTP에는 RTP-HTOL, RTP-STOL, RTP-HTOLES, RTP-LINC, RTP-TABLE, RTP-HSO와 같은 다양한 프로세스 옵션도 제공됩니다. 이러한 옵션을 사용하면 고온 램프, 최대 1000 ° C의 고진공에서의 빠른 열 연쇄, 전기 이동, HTOL, 최대 1000 ° C의 단일 웨이퍼 빠른 열 처리, 워밍업 및 냉각을위한 저온 오븐 등 다양한 프로세스 조합이 가능합니다. 전반적으로 AST 2800E Rapid Thermal Processor는 다양한 열 처리 요구에 적합한 솔루션입니다. 빠른 주기, 신뢰할 수 있는 온도 조절, 고품질의 성능, 반복 가능한 결과를 위한 견고한 설계 등을 통해 높은 온도 성능을 제공합니다.
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