판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9244813

STEAG/MATTSON/AST 2800은 빠른 열 프로세서로, 재료에 대해 완전히 자동화된 열 처리 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 프로세서는 다양한 반도체 프로세스에 대한 고급 열 균질화, 산화/감소 기능, 신속한 열 사이클링을 제공합니다. 즉, 고속 데이터 수집 및 보고 시스템을 통해 결과의 반복성과 시스템 제어가 향상됩니다. 이 빠른 열 프로세서는 GaAs 웨이퍼 히터, 열전 쿨러, H-Bridge 컨트롤러, 응용 프로그램 제어 및 프로세스 모니터링으로 구성됩니다. 프로세서는 이러한 구성 요소를 사용하여 프로세싱 (processing) 및 어닐링 (annealing) 주기 모두에서 단일 또는 다중 웨이퍼에 대한 고급 열 조건 (thermal conditioning) 을 제공할 수 있습니다. -160 ° C ~ + 850 ° C 범위의 정확한 온도 프로그래밍을 제공합니다. 웨이퍼 전체의 낮은 열 구배는 전체 학기 처리 주기 동안 높은 정밀도 온도 조절 (HPC) 을 통해 달성됩니다. 프로세서는 단일 실행으로 최대 9 개의 쌓인 웨이퍼 또는 기판을 수용하거나, 12 개의 다른 속도와 에너지에서 여러 번의 실행을 수용 할 수 있습니다. 또한, 내장형 센서는 열 처리 모니터링을 위한 실시간 데이터를 제공하며, 프로세스 제어를 더욱 강화합니다. 이 데이터를 사용하여 프로세스 매개변수를 업데이트하고 최적의 프로세스 결과를 위한 예측 모델 (Predictive Model) 을 생성할 수도 있습니다. 이 시스템에는 AutoTune 소프트웨어가 장착되어 있어 코어 프로세스 매개변수뿐만 아니라 히터 유형 (heater type), 히터 전원 (heater power) 및 히터 속도를 최적화할 수 있습니다. 또한, 선택적 가장자리 가열 기능은 가열 된 웨이퍼 모서리의 수동화에 도움이되며, 따라서 유전체 무결성 문제를 방지합니다. AST 2800 의 자동 시스템 제어 및 모니터링 기능을 통해 태양광 및 LED 의 신속한 열 처리 (thermal processing) 애플리케이션에 적합합니다. 올인원 (All-in-one) 설계는 설정, 운영 및 프로세스 확인을 단순화하며 반복 가능하고 안정적인 결과를 보장합니다. 또한, 이 프로세서는 기존 생산 라인과 통합되어 온도 감지 (temperature sensing) 및 제어 (control) 를 완벽하게 통합할 수 있습니다.