판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9185557

STEAG/MATTSON/AST 2800은 고온 어닐링 및 리소그래피 프로세스를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 장비는 고출력 마이크로파 소스와 특수 설계된 흑연 서셉터 (susceptor) 를 사용하여 박막 재료를 빠르고 국부적으로 가열할 수 있습니다. RTP는 50 ~ 600 ° C 범위의 균일 한 온도 프로파일을 제공하며, 최대 열 노출 시간은 2ms입니다. 또한 최대 2 밀리미터 (2mm) 크기의 다양한 작은 샘플에서 반복 가능한 온도 프로파일이 가능합니다. 이 시스템은 인체 공학 샘플 격리 장치가 장착 된 특별히 설계된 응용 프로그램 챔버 (application chamber) 를 사용합니다. 즉, 신속한 처리를 위한 효율적이고 안전한 환경을 제공하며, 샘플 이동이 필요 없이 정확한 온도 조절 (temperature control) 을 보장합니다. 정밀도를 향상시키기 위해 기계는 일련의 정밀 동작 제어 요소와 피드백 (feedback) 메커니즘을 사용합니다. 단일 카메라 CCD 이미징 도구를 사용하여 열 처리 중 샘플 진행률을 모니터링할 수 있습니다. 광학 에셋은 광시야각 (시야각 최대 40 °) 과 큰 픽셀 크기 (픽셀 크기) 를 갖추고 있어 빠르게 변화하는 열 속성의 고해상도 이미징 (고해상도) 을 제공합니다. 또한, 높은 동적 범위 모델을 사용하면 여러 영역의 온도 매핑이 가능합니다. RTP는 다양한 혁신적인 박막 자료 및 응용 프로그램과 호환됩니다. 고온 어닐링 및 리소그래피 공정에 폴리 실리콘, 질화 실리콘, 이산화실리콘 및 기타 재료와 함께 사용하기에 적합합니다. 그 에 더하여, 그것 은 여러 가지 박막 의 열 충격 을 측정 하고 여러 가지 열 처리 기술 에 대한 최적 의 "어닐링 '시간 을 신속 히 결정 하려고 하는, 급속 한 일시적 온도 실험 을 수행 하는 데 적합 하다. 그렇다. 마지막으로, RTP는 뛰어난 장비 안정성, 높은 수준의 제어 정확성, 결과의 재현성을 제공하기 위해 개발되었습니다. 이 시스템은 또한 낮은 전력 소비량과 낮은 소음 가동 (low noise operation) 을 특징으로하며, 민감한 실험실 응용 프로그램 내의 응용 프로그램에 적합합니다.