판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9038290

STEAG/MATTSON/AST 2800은 연구, 개발 및 웨이퍼 생산을 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 멀티 모드 도구이며, 산화, 어닐링, 확산 및 스퍼터링과 같은 여러 열 과정을 수행 할 수 있습니다. AST 2800은 2 개의 공정 챔버 (유도 코일 포함) 와 다른 하나는 적외선 소스 (각각 독립적으로 제어 됨) 를 사용합니다. STEAG AST2800의 주요 기능은 고온 및 빠른 처리 기능입니다. 코일과 적외선 소스는 빠른 열 처리를 사용하여 웨이퍼 (wafer) 또는 기질의 온도를 각각 1000 ° C 및 1500 ° C까지 높일 수 있습니다. 높은 처리 온도를 통해 실리사이딩 (silicidation) 및 위상 변환 (phase transformation) 과 같은 빠르고 정확한 기판 수정이 가능합니다. MATTSON 2800에는 고급 제어 시스템도 장착되어 있습니다. Vacuumschmelze advanced microprocessor 기술로 설계되었습니다. Vacuumschmelze advanced microprocessor 기술은 연산자의 개입을 최소화하면서 정확한 온도 및 시간 제어를 가능하게 합니다. 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 프로세스 전반에 걸쳐 온도의 균일성을 유지하는 데 도움이되며, 따라서 최종 제품의 균일성을 보장합니다. 또한 STEAG/MATTSON/AST AST2800은 여러 프로세스를 동시에 수행 할 수있는 다기능 시스템입니다. 두 개의 프로세스가 동시에 수행 될 수있는 이중 빠른 열 구역이 있습니다. 이 기능은 여러 프로세스를 동시에 수행하여 처리 처리량을 대폭 늘릴 수 있으므로 시간 (time) 과 자원 (resource) 을 효율적으로 활용할 수 있습니다. 또한 AST AST2800에는 사용이 간편한 포괄적인 소프트웨어 플랫폼이 제공됩니다. 소프트웨어 플랫폼은 실시간 프로세스 제어 데이터, 상세한 웨이퍼 기록 추적, 레시피 및 프로세스 아카이브를 제공합니다. 이렇게 하면 부드러운 웨이퍼 (wafer) 처리와 각 프로세스의 매개변수를 보다 효율적으로 제어할 수 있습니다. 전반적으로 AST2800 (AST2800) 은 안정적이고 고도의 빠른 열 프로세서로 뛰어난 정밀도, 온도 반복성, 처리량을 제공합니다. 높은 온도, 빠른 주기 (fast-cycle), 철저한 프로세스 제어 기능으로 인해 다양한 애플리케이션과 프로세스에 매우 유용합니다.