판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #293621529

AST/STEAG/MATTSON/AST 2800은 고급 열 처리, 고급 냉각 기술을 활용하여 고급 마이크로 일렉트로닉 소재의 정밀 제어 및 처리를 수행하는 고속 고속 열 프로세서입니다. 이 기술은 빠른 열 램프 속도, 정확한 온도 조절, 빠른 냉각 시간으로 완벽한 균일성 성능을 제공합니다. AST 2800은 산화물 증착 및 에칭, 확산, 어닐링, 사진 분석 및 테스트와 같은 광범위한 고온 응용을 위해 설계되었습니다. 이 장비는 고유한 X-Y 제어 웨이퍼 (X-Y Control Wafer) 포지셔닝 시스템을 사용하여 프로세스 주기 동안 외부 동작 없이 정확한 열 처리를 지원합니다. STEAG AST2800은 또한 공정 중에 정확한 가스 전달을 위해 4 개의 고급 열 구역과 4 개의 수직 가스 분사 실린더를 갖추고 있습니다. STEAG 2800은 고급 마이크로 프로세싱 및 계측 장치를 사용하여 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 마이크로프로세싱 머신 (microprocessing machine) 은 고급 온도, 램프 및 사이클 프로그래밍으로 빠르고 정확한 열 제어 기능을 제공합니다. 계측 도구는 온도, 온도 균일성, SOI (관심 표면) 온도 및 가스 압력에 대한 정밀 모니터링 및 제어를 제공합니다. MATTSON 2800은 Class 10 클린 룸 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 매우 단단한 온도 균일성 공차 내에서 정확하고 반복 가능한 성능을 보장하도록 설계되었습니다. 이 자산은 또한 다양한 기판 크기를 처리 할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system) 과 호환됩니다. STEAG/MATTSON/AST AST2800은 온도 알고리즘 제어를 포함한 다양한 온도 제어 방법을 제공합니다. 이 알고리즘은 시간 변화 열 프로세스 (time-variing thermal process) 동안 열 반응의 불일치를 보완하는 데 사용됩니다. 이 모델은 또한 가열, 냉각, 지능형 온도 조절 등 다양한 온도 조절 방법을 제공합니다. 2800은 고급 마이크로 전자 재료를위한 고급 열 프로세서입니다. 조정 된 열 램프 (thermal ramp) 및 사이클 프로그래밍 (cycle programming) 과 결합 된 고속, 정밀 온도 제어는 다양한 고온 프로세스에 이상적인 도구입니다.