판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 #101676
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판매
ID: 101676
웨이퍼 크기: 8"
RTP system, 8"
Front side:
Monitor - Front LCD
Cassette station: 2 station
Rotation disabled
Cassette Size : 8"
Cooling Station
Dummy Station, not original but modified
Pre Aligner
Robot
Endeffector, not original but modified
Slot Sensor, missing
Keyboard-Front
Floppy Disc
Signal Tower: 4 colors
EMO switch
Door Plate
Back side:
EOCU
BLCU
Control Rack 1 Power Supply 1
Power Supply2
Power Supply3
Power Supply4, missing
MCU
LCCU
LCL1
LCL2
Control Rack 2, SLCU1, missing
SLCU2, missing
LVU, missing
LCU1, missing
LCU2, missing
WCU1, missing
WCU2, missing
O2 Display
TCA
PCU
PDCU
PIO
PDU
PSU
Control Rack 3, PVU1
PVU2
SMB
PVC, missing
DVU
WVU, missing
ILC Rack controller:
Power Supply
PWM1
PWM2
ILC POD
INT (= STATUS)
MIB
SEC
EPC 486
Gas box:
N2 30 SLPM
O2 10 SLPM, O2 100 sccm
MFC & Gas Filter, NH3 10SLPM, Missing
Ar 10 SLPM, Missing
Temperature:
Pyrometer
Optic sensor
Tube TC
Service console:
Touch Screen - Rear
Keyboard - Rear, Missing
IPC:
Main Computer
Vacuum pump:
Vacuum pump, missing
Sensor:
O2 MFC
Power Supply
Display Meter
O2 Sensor
O2 Pump, missing
Quartzware:
Tube, Missing
Tray, Missing
Pin for tray, Missing
Distribution plate(T), Missing
Distribution plate(R), Missing
Door aperture, Missing
Elbow, Missing
O2 sensor pipe, Missing
Liner plate(Top), Missing
Liner plate(Bot), Missing
Hot Liner , Missing
Edge guard ring, Missing
Pin for cooling station, missing
Other:
UPS, n/a
TC wafer(S-Type), Missing
TC feed through
Can be inspected.
STEAG/MATTSON/AST 2800은 분석 및 과학 연구에서 열 공정에 대한 온도의 쉽고 정확한 조절을 위해 특별히 설계된 빠른 열 프로세서입니다. 이 프로세서의 온도 범위는 -95 ° C ~ 500 ° C이며, 특허를 받은 공기-액체/수중 냉각 기술을 통해 해당 범위 내에서 온도를 빠르고 효율적으로 조절 할 수 있습니다. 이 빠른 열 프로세서는 샘플을 보유한 반응 챔버 (reaction chamber) 를 사용하여 STST (spark-proof) 컨테이너로 대체하여 작동합니다. 컨테이너 내부의 샘플 온도는 열전 모듈 (thermoelectric module) 으로 직접 조절된 다음 정확한 온도 컨트롤러 (temperature controller) 로 모니터링됩니다. 프로세서는 정적 또는 동적 작업 모드로 실행할 수도 있습니다. 정적 작동에서, 챔버 내부의 온도는 원하는 열 사이클 (thermal cycle) 이 시작되기 전에 안정화 될 수있다. 동적 (Dynamic) 모드에서 온도는 시간이 지남에 따라 위아래로 램프되어 원하는 결과를 얻습니다. 프로세서는 또한 열 공정 (thermal process) 동안 빠르고 정확한 압력 조절을 제공하는 강력한 진공 펌프 (vacuum pump) 와 온도 변화를 줄이는 데 도움이되는 챔버 주변의 조절 가능한 공기 커튼 (air curton) 을 사용합니다. 그리고 박막 증발은 보조 난방 기능을 사용하여 가능합니다. 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 모니터링 작업 (monitor operation) 을 입력할 수 있는 사용자 친화적 터치스크린 패널과 데이터를 PC로 전송할 수 있는 인터페이스 (interface) 가 있습니다. 또한 AST 2800에는 다양한 안전 기능이 제공됩니다. 온도가 과다해지면 자동으로 종료될 수 있으며, 전원 장애 시 자동 시동 (auto start-up) 기능이 있습니다. 또한 샘플의 산화 위험을 제거하는 독특한 중립 가스 보호 시스템 (Neutral Gas Protection System) 이 있습니다. 전반적으로 STEAG AST2800은 강력하고, 안정적이며, 엄청나게 정확한 빠른 열 프로세서입니다. 효율적인 운영, 다양한 안전 기능 (Safety Function), 사용 편이성, 데이터 전송 기능을 통해 모든 실험실 또는 연구 환경에 적합합니다.
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