판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9195879

STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon은 높은 처리량 작동을 위해 설계된 고급 열 프로세서입니다. 핫 월 퍼니스 (hot-wall furnace), 웨이퍼 트랜스퍼 로봇 및 컨트롤러를 갖춘 단일 유닛 플랫폼이있는 컴팩트하고 자체 포함 된 기기입니다. 연구 및 생산 요구 사항에 이상적인이 빠른 열 프로세서는 정밀한 온도 조절 (temperate control) 을 활용하여 일관된 결과를 보장합니다. AST 2800 Epsilon은 24 개의 고 에너지 쿼츠 램프가있는 핫 월 디자인을 갖추고 있습니다. 빠른 열 어닐링 (thermal annealing) 을 위해, 이 장치는 증착 균일성을 향상시키기 위해 웨이퍼를 가로 질러 고른 열 분배를 제공합니다. 램프는 더 높은 온도와 더 일관된 균일성을 허용하기 위해 게이트 (gated) 구성으로 배치됩니다. STEAG 2800 Epsilon은 섭씨 600도까지의 온도에 도달 할 수 있으며 온도 조절 정확도는 1 ° C 이내입니다. MATTSON 2800 Epsilon에 포함 된 웨이퍼 전송 로봇은 최대 로드 용량이 50g 인 20mm x 150mm 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 이 로봇은 보다 부드럽고 빠른 샘플 처리를 위해 안정적이고 정확한 웨이퍼 (wafer) 처리를 보장합니다. 또한, 2800 Epsilon은 열적 비 균일성을 최소화하도록 설계된 고급 온도 및 진공 제어 시스템을 갖추고 있습니다. STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon의 고급 컨트롤러를 사용하면 모든 필수 매개 변수에 최대 20 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 여기에는 주기 시간, 프로파일 설정 점, 냉각 속도 및 기타 중요한 프로세스 매개변수가 포함됩니다. 사용자에게 친숙한 그래픽 터치 스크린을 통해 간단하고 직관적인 작업을 수행할 수 있습니다. AST 2800 Epsilon은 웨이퍼의 빠른 열 처리에 이상적인 솔루션입니다. 이 빠른 열 프로세서는 정밀 난방 기능, 자동 웨이퍼 전송 (Automated Wafer Transfer), 직관적인 컨트롤러로, 효율성과 정확도를 극대화할 수 있도록 설계되었습니다.