판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9139817
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ID: 9139817
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2002
RTP System, 8"
System power: 43kw,208V, 60Hz
Software version: Windows NT4.0 SHS 1.42
Front door type: Auto
Chamber door type: Cylinder type
Carrier stage rotation: Rotation
Monitor front / rear: 2EA
Gem interface
4-Color signal tower
UPS System
(2) Gas inlet: Bottom
Stage assign Cool stage Dummy stage Process stage
Total: 5EA 2 1 2
Gas system Model Gas Name Scale
MFC1 Unit UFC-8160 N2 30L (A2093010302)
MFC2 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010702)
MFC3 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010602)
MFC4 UNIT UFC-8160 N2 10L(A2093010802)
MFC5
IPC Module: Booting check
ILC Module:
Power Supply check
PWM Board 1,2 Check
POD Board check
INT Board check
MIB Board check
SEC Board check
EPC486 Hard drive check
Control rack 1:
EOCU(ECCU) Board check
BLCU Board check
MCU Board check
Power supply check (1~4)
Control rack 2:
LCCU Board check
LCL 1,2 Board check
SMB Board Check
SLSU Board 1,2 check
LVU Board check
LCU Board X2 check
WCU Board U check
TCA Module check
Control rack 3:
PCU Board check
PDCU Board check
PIO Board check
PDU Board check
PSU Board check
PVC Board check
PVU Module check
WVU Board check
DVU Module check
Robot:
Controller check
Moving check
Aligner:
Controller check
Align check
O2 Analyzer:
Display unit check
Sensor unit check
Pyrometer check
Terminal box check
Lamp: Fail check (1 ~ 38 )
2002 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon은 장치 처리의 효율적인 처리량을 위해 반도체 및 전자 산업에서 사용하는 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 최첨단 핫 및 콜드 프로세싱 기능을 활용하여 AST 2800 엡실론 (Epsilon) 은 장치 구조 및 기질의 정교한 열 처리를 제공 할 수 있습니다. 시간과 비용을 최소화하면서 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. STEAG 2800 Epsilon에는 각각 최대 1100 ° C의 온도에 도달 할 수있는 2 개의 독립적 인 열 공정 챔버가 장착되어 있습니다. 각 챔버에는 최신 기판 난방, 냉각 및 열 순환 기능도 장착되어 있습니다. 이를 통해 다양한 열 프로파일을 달성 할 수 있습니다. 2800 Epsilon의 정확성과 정밀도는 고급 온도 조절 시스템 및 피드백 프로브를 통해 보장됩니다. 공정이 실행되는 동안 챔버의 상단, 하단, 측면에 온도 판독 (temperature reading) 이 제공되어 잠재적 인 고르지 않은 가열이 제거됩니다. MATTSON 2800 Epsilon의 공정 챔버에는 다양한 선박 유형을 사용할 수 있습니다. 여기에는 석영, 알루미늄, 세라믹 및 유리 용기가 포함됩니다. 챔버 내의 정렬 핀은 프로세스가 진행되는 동안 용기가 회전하는 것을 방지합니다. 두 방의 공정 유체 (process fluid) 를 필터링하여 혈관 벽을 불순물로부터 보호 할 수 있습니다. 이것은 금속 필터, 필름 필터, 막 필터 등 다양한 필터 (예: 현장 내 설치 가능) 로 수행됩니다. STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon의 난방 및 냉각 시스템은 빠르고 균일 한 열 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 고성능 컨트롤러의 도움으로, 두 챔버 모두 온도와 타이밍을 매우 정확하게 독립적으로 제어할 수 있습니다. 이와 동시에 설계를 통해 시간과 에너지를 절감하여, 보다 빠르고 효율적인 열 처리를 수행할 수 있습니다. 또한 AST 2800 Epsilon 은 다양한 시스템 데이터 로그, Critical Error Alert (심각한 오류 경고) 및 기타 기능을 제공하는 통합 디지털 제어 시스템을 통해 원격 모니터링 및 작동의 유연성을 제공합니다. 또한 사용이 간편한 고급 사용자 인터페이스를 제공합니다. 전반적으로 STEAG 2800 엡실론 (Epsilon) 은 다양한 기판 및 장치 구조에 대한 균일 하고, 빠르고, 정확한 열 처리를 제공 할 수있는 고급 RTP입니다. 강력한 컨트롤러, 빠른 열 주기, 간편한 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 에너지 효율적이고 경제적인 장치 처리 솔루션을 제공합니다.
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