판매용 중고 STEAG / MATTSON / AST 100 #9190168

STEAG/MATTSON/AST 100 빠른 열 프로세서는 다양한 연구 및 산업 응용을 위해 설계된 고급 열 처리 장비입니다. 단일 단계, 단일 챔버 접근법 (single chamber approach) 을 사용하여 샘플과 기판 사이의 빠른 열 처리 및 직접 열 전달을 제공합니다. 이 시스템은 저항 가열 (resistive heating) 요소를 사용하며, 고유 아키텍처는 다양한 열 및 공정 매개변수를 제공합니다. 이를 통해 장치가 다양한 열 처리 (thermal processing) 애플리케이션의 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 기계는 고온, 저열 전도성 석영 챔버를 사용하여 열적으로 분리 된 환경을 만듭니다. 열 안정성 (thermal stability) 과 낮은 열 질량 (low thermal mass) 이 이 설계에서 가장 중요한 두 가지 특징입니다. 챔버 (chamber) 는 샘플을 균일하게 가열하는 반면, 낮은 질량과 높은 열 전도성은 빠른 온도 반응을 보장합니다. 이 챔버 (Chamber) 는 또한 빠른 난방 및 냉각주기를 허용하여 빠른 열 처리 및 어닐링 응용 분야에 적합합니다. 이 도구에는 개발 컴퓨터, 석영로, 저항 가열 요소, 온도, 압력 및 흐름 센서, 제어 자산이 포함됩니다. 온도 조절을 위한 PID 제어 루프 (PID Control Loop) 와 프로세스 타이머, 압력 제어, 프로세스 모니터 등의 추가 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이 모델은 추가 샘플 로드를 제어 할 수도 있습니다. 이 장비 는 극한 온도 에서도 정확 한 온도 조절 과 난방 "프로파일 '을 제공 할 수 있다. 그것 은 금속, 중합체, 반도체 재료 등 여러 가지 기질 을 처리 할 수 있다. 또한 RTP (Rapid Annealing) 및 기타 다양한 빠른 열 처리 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. AST 100은 고급 열 처리 응용 프로그램에 이상적인 시스템입니다. 단일 단계, 단일 챔버 아키텍처는 극한의 온도에서 뛰어난 프로세스 제어 및 열 안정성을 제공합니다. 독보적 인 "디자인 '은 또한 정밀 한 온도 조절 과 난방" 프로파일' 을 허용 하여, 여러 가지 처리 응용 프로그램 에 적합 하다.