판매용 중고 NPS RHP440 #9160845

NPS RHP440 고속 열 프로세서는 높은 처리량, 우수한 온도 램프, 정확한 온도 제어를 위해 설계된 최첨단 온도 제어 장치입니다. 단일 챔버 장비 (Single-Chamber Equipment) 와 2 챔버 시스템 (Two-Chamber System) 의 두 가지 모델로 제공되며, 모두 급속히 가공하는 웨이퍼에 냉각, 난방 및 보유 기능을 제공합니다. 단일 챔버 장치 (single-chamber unit) 는 빠른 어닐링 도구로, 비교할 수없는 열 램프 속도와 인상적인 온도 유지 정확도 ± 0.1 ° C를 제공합니다. 또한 최대 1200 ° C의 높은 온도 노출 수준으로 전체 웨이퍼 전체에서 ± 0.5 ° C의 온도 균일성을 제공합니다. 2 챔버 머신은 고성능 IC 생성을 위한 다기능 핫 및 콜드 래피드 급열 프로세서입니다. 최대 온도 범위는 400-900 ° C이며 전체 웨이퍼에서 ± 0.25 ° C 온도 균일성을 갖습니다. NPS RHP 440에는 산소 제거를위한 N 2 퍼지 도구도 있습니다. 사용자 인터페이스는 직관적이고 사용자 친화적이며, 운영자는 운영 매개변수를 빠르고 쉽게 설정할 수 있습니다. 다른 작동 조건에서 연산자 입력 매개변수를 쉽게 저장할 수 있으므로, RHP440 (RHP440) 을 사용하여 일관되게 반복 가능한 열 처리 결과를 얻을 수 있습니다. 와퍼 챔버 (wafer chamber) 를 정렬하기 위해 쿼츠 (quartz) 의 이중 레이어를 사용하여 단단히 밀봉 된 환경과 최대 온도 안정성을 보장합니다. RHP 440 빠른 열 프로세서에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 방에 대한 과열 방지, 자동 경보 (automatic alarm) 및 비상 사태시 자동 차단 (automatic shut off) 이 포함됩니다. 프로세서는 또한 전자적 잠금 (electronic lock) 기능을 제공하여 공인 직원만이 자산에 액세스 할 수 있도록 합니다. 요약하자면, NPS RHP440 Rapid Thermal Processor는 정확한 온도 제어를 보장하면서 웨이퍼를 신속하게 처리하도록 설계된 온도 제어 장치입니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있으며, 전체 웨이퍼에 걸쳐 뛰어난 온도 균일성을 제공합니다. 유용한 안전 기능이 있으며 단일 및 2 챔버 모델 모두에서 사용할 수 있습니다.