중고 NPS (급속열공정장비) 판매용

NPS는 최첨단 기술과 안정적인 성능으로 널리 알려진 RTP (Rapid Thermal Processor) 의 선두 제조업체입니다. RTA (Rapid Thermal Annealing) 시스템이라고도하는 이러한 RTP는 반도체 제조 공정에 사용되어 반도체 장치의 품질과 수율을 향상시킵니다. NPS RTP의 주요 장점 중 하나는 빠른 가열 및 냉각 주기 (fast heating and cooling cycle) 를 제공하여 어닐링 온도 및 시간을 정확하게 제어 할 수있는 능력입니다. 그 결과 도펀트 활성화 (dopant activation), 결함 밀도 감소, 반도체 재료의 전기 특성 향상 등이 향상됩니다. NPS RTP는 또한 뛰어난 온도 균일성과 안정성을 제공하여 여러 웨이퍼에서 일관된 처리를 보장합니다. NPS는 다양한 프로세스 요구 사항에 맞게 다양한 RTP 모델을 제공합니다. 예를 들어, RHP440 은 소형 설계와 비용 효율적인 솔루션을 갖춘 엔트리 레벨 RTP 입니다. 반면에, RHP 620 은 더욱 향상된 모델로서, 높은 처리량, 향상된 유연성, 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. NPS의 고급 RTP의 예는 RHP 620 AVP이며, 실시간 온도 모니터링을위한 통합 된 멀티 채널 pyrometry 시스템을 갖추고 있습니다. 이를 통해 까다로운 애플리케이션에서도 애닐링 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 RHP 620 AVP는 프로세스 조건을 최적화하고 오염을 최소화하기 위해 우수한 가스 흐름 관리를 제공합니다. 전반적으로 NPS 고속 열 프로세서는 신뢰성이 높고, 효율적이며, 다재다능하므로 다양한 반도체 제조 어플리케이션에 적합합니다.