판매용 중고 NPS RHP440 #293766899

NPS RHP440 RTP (Rapid Thermal Processor) 는 반도체 생산 프로세스에 사용되는 고급 열 처리 장비입니다. 단 몇 초 만에 -40 ° C ~ 600 ° C 사이의 온도에 대한 웨이퍼의 빠르고 정확한 열 순환 (thermal cycling) 이 가능하여 빠른 열 어닐링 및 확산 공정이 가능합니다. NPS RHP 440은 수평 열 프로세서로, 4 인치 실리콘 웨이퍼에서 최대 온도 균일성이 ± 3 ° C 인 웨이퍼 표면에서 높은 수준의 온도 균일성을 제공합니다. 레이저 간섭계 (laser interferometer) 를 장착하여 고정밀 온도 조절을 가능하게하며 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 표면에서 반복 가능한 온도 성능을 제공합니다. RHP440은 또한 에칭 (etching) 또는 증착 (deposition) 과 같은 다른 프로세스 장비와 통합되도록 설계되었습니다. RHP 440에는 인원과 장비를 보호하는 정교한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 급속 발열시 실리콘 웨이퍼의 표면 온도를 감시하는 열전대 (thermocouple array) 와 안전하지 않은 조건이 감지되면 자동으로 장치를 종료하는 컴퓨터 자동 연동 시스템 (computer-automated interlock system) 이 장착된다. 또한, 기계의 온도 및 압력 센서 (pressure sensor) 가 여러 개 있어 환경에 대한 갑작스런 변화를 감지하고 연산자에게 경고합니다. NPS RHP440 은 다양한 기능과 이점을 자랑하며, 이를 통해 반도체 생산 프로세스에서 탁월한 선택이 가능합니다. 열 대기 시간이 30 밀리초에 불과하여 빠른 열 순환 (thermal cycling) 이 타이트한 생산 주기를 충족 할 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 반도체 생산 공정에 대한 향상된 온도 균일성 및 정확성을 제공하는 고급 고유 영역 (Intrinsic Zone) 타겟팅 에셋이 있습니다. 또한, 고품질 구성 요소 및 구성으로 인해 매우 안정적이고 내구성이 뛰어납니다. 전체적으로, NPS RHP 440 RTP는 반도체 생산 프로세스의 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 열 처리 모델입니다. 빠른 열 사이클링 시간 (thermal cycling time), 정밀 온도 제어 (precision temperature control) 및 통합 안전 (integrated safety) 기능을 통해 반도체 생산에 이상적인 선택이 가능합니다.