판매용 중고 NPS RHP440 #293643159
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NPS RHP440은 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 반도체 생산용 원스톱 (one-stop) 장비다. 가열· 냉각주기를 이용해 계층구조· 반도체 기판 등 다양한 재료를 처리한다. 특히, 다양한 온도 범위에서 다양한 재료와 기판을 처리하는 데 사용되는 RTP 시스템입니다. 그것은 큰 프로그래밍 가능한 온도 범위 (최대 1,400 ° C (2,552 ° F)) 와 열전대 및 서미스터에 대한 입력 옵션을 특징으로합니다. 반도체 업계에서 대용량 생산을 위해 설계된 견고하고 안정적인 인라인 (in-line) 열 처리 장치를 갖추고 있습니다. 고급 고효율 단일 웨이퍼 고속 열 처리 장치를 갖추고 있습니다. RHP440에는 사용자 친화적 인 컨트롤이 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함된 지능형 터치스크린 패널을 사용하면 쉽게 레시피를 변경하고 레이아웃할 수 있습니다. 또한, 내장된 안전 기능은 생산 환경을 안전하게 유지하면서, 뛰어난 운영 안정성을 제공합니다. 또한, 이 툴에는 데이터 로깅 에셋이 내장되어 있어 데이터를 저장하고 모델 변경 사항을 기록할 수 있습니다. 또한 NPS RHP440 에는 실제 프로세스 온도, 램프 속도, 프로세스 시간 모니터링을 위한 온도 조절 및 프로세스 모니터링 장비가 있습니다. 이 시스템은 Matlab 및 LabVIEW와 같은 많은 업계 표준 소프트웨어 응용 프로그램과 호환됩니다. 광학 방출 분광법 (OES), 연동, 배치 분석, 플로우 셀 분석, 프로세스 특성 등과 같은 옵션 소프트웨어 패키지가 있습니다. 전반적으로 RHP440 은 안정적이고, 사용자 친화적이며, 고성능 툴로서 다양한 열 처리 작업에 최적의 유연성을 제공합니다. 업계 최고의 데이터 캡처/프로세스 모니터링 기능과 더불어, 산업 애플리케이션을 위한 빠르고, 정확하며, 반복 가능한 성능을 제공합니다.
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