판매용 중고 NPS RHP150 Plus #293603754

NPS RHP150 Plus는 대용량 생산 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 제품은 Rapid Thermal Processing 제품의 최신 NPS 제품으로, 향상된 열 균일성 및 챔버 용량뿐만 아니라 프로세스 제어 및 최적화된 열 생산성을 제공합니다. RHP150 Plus는 챔버 기반 RTP 플랫폼으로, 웨이퍼 및 WLCSP annealing, thinning 및 gettering을 포함한 광범위한 열 프로세스를 위해 독립적으로 제어 된 4 개의 존을 갖추고 있습니다. 각 영역은 한 쌍의 강력한 병렬 장착 쿼츠 히트싱크 (parallel-mounted quartz heatsink) 에 의해 구동되며, 시스템은 디지털 온도 컨트롤러와 함께 일정한 온도로 유지됩니다. 가열 요소는 안정적이고 안정적인 작동을 위해 설계되었으며, 램프 시간이 짧고 열 공정 (higher thermal process) 을 위한 광범위한 헤드 룸이 있습니다. NPS RHP150 Plus (NPS RHP150 Plus) 는 수동 개입을 최소화하고 처리 시간을 최소화하여 대량 생산에 적합합니다. 통합 웨이퍼 전송 시스템은 빠르고 반복 가능한 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능하며, 고급 Allen-Bradley PLC 컨트롤러는 모든 열 프로세스에 대한 사용자에게 친숙한 제어를 제공합니다. 또한, NPS 는 다양한 소프트웨어 패키지를 제공하여 열 성능을 최적화하고 대화형 (interactive) 프로세스 개발을 용이하게 합니다. RHP150 Plus는 또한 conventionalbatch 스타일의 프로덕션 RTP 시스템보다 더 나은 프로세스 제어 및 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 3 점 영역 온도 프로파일은 전체 챔버에서 균일성을 보장하기 위해 사용되며, 가변성을 상당히 줄이고, RTP 후 열 처리가 필요하지 않습니다. 또한, 열 처리 중 웨이퍼 온도를 실시간으로 모니터링하기 위해 고속 적외선 이미징 (High-speed Infrared Imaging) 이 사용되므로 챔버 환경을 방해하지 않고 빠르고 정확한 프로세스 검증을 수행할 수 있습니다. NPS RHP150 Plus (NPS RHP150 Plus) 는 대용량 운영 애플리케이션에 이상적인 선택으로, 일관성 있고 반복 가능한 열 프로세스를 제공하며, 기존 일괄 처리 방식과 관련된 작업 부하 및 비용을 줄입니다. 고급 기능과 유연성을 갖춘 RHP150 플러스 (Plus) 는 중요한 열 구성 요소의 대용량 생산에 적합합니다.