판매용 중고 MATTSON Millios #9359557

MATTSON Millios는 Semiconductor 및 LED 산업의 다양한 운영을 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 고급 열 기술을 사용하여 향상된 프로세스 정밀도, 반복성 및 균일성을 제공합니다. 이 장비는 최대 6 개의 영역 온도 제어를 제공 할 수 있으며 확산, 산화 (oxidation) 및 열 어닐링 (annealing) 을 포함한 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 시스템에는 산화 감소 및 어닐링 (annealing) 및 붕소 이식 (boron implantation on wafers) 과 같은 사전 형성 과정을 줄이기 위해 질소 퍼지 (Nitrogen purge) 가 장착되어 있습니다. 직경 300mm까지의 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 섭씨 -50도에서 섭씨 1300도까지 온도를 제공 할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 웨이퍼의 균일 한 난방 및 냉각을 돕는 독특한 그리드 암 (grid-arm) 디자인이 포함되어 있습니다. 이것은 정확하고 정확한 온도 프로파일링을 제공합니다. 밀리 오스 (Millios) 는 또한 실시간 프로세스 모니터링 머신을 갖추고 있으며, 이는 웨이퍼 처리에 대한 정밀성과 반복 성을 제공합니다. 또한, 로드/언로드 프로세스를 간소화하고 보다 안전하고 빠른 웨이퍼 전송을 제공하는 통합 자동 로드/언로드 (automated loading and unloading) 모듈이 있습니다. 또한, 이 툴은 전체 사용자 환경을 개선하기 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 여기에는 레시피 매니저 (Recipe Manager) 에셋이 포함되며, 사용자는 최소한의 노력으로 처리 레시피를 저장하고 리콜하고 다른 레시피를 관리할 수 있습니다. 또한 일반적인 문제를 설정, 운영 및 해결하는 데 필요한 자세한 지침을 제공하는 온라인 설명서가 있습니다 (영문). 이 모델은 LED 제조, MEMS 및 기타 고급 반도체 어플리케이션을 포함한 다양한 시장에 적합합니다. 즉, 오류 발생 시 작동을 방지하는 연동 (interlock) 장비를 통해 향상된 안전 기능을 제공합니다. 또한 처리 중 실제 웨이퍼 위치를 표시하여 프로세스 제어를 증가시킵니다. 전반적으로 MATTSON Millios RTP는 정교하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 링 시스템으로, 정확하고 반복 가능하며 균일 한 열 처리를 제공합니다. 사용자, 특히 높은 정확도와 균일성이 필요한 프로세스에서 다양한 기능과 이점을 제공합니다 (영문). 또한, 폐기물을 대폭 줄이고, 프로세스 효율성을 높여, 다양한 업종에 이상적인 선택이 됩니다.