중고 MATTSON (급속열공정장비) 판매용

Mattson은 반도체 산업에 사용되는 혁신적인 빠른 열 프로세서 (RTP) 의 유명한 제조업체입니다. RTP는 확산, 산화 (oxidation), 어닐링 (annealing) 과 같은 다양한 공정에 대해 특정 온도에 빠르게 가열 및 냉각 웨이퍼를 포함하므로 반도체 제조에서 중요한 단계입니다. ATSON 3000 및 HELIOS 3000과 같은 Mattson의 RTP 모델은 최첨단 기술과 고급 기능을 제공하여 정확성과 효율성을 보장합니다. 이러한 유사체는 빠른 가열 및 냉각 속도, 뛰어난 온도 균일성, 정확한 프로세스 제어, 높은 처리량 등의 일반적인 이점을 공유합니다. AST 3000은 다재다능성으로 유명한 모델로, 빠른 열 어닐링, 저온 산화, 금속 어닐링 등 다양한 프로세스 모듈을 지원합니다. 탁월한 온도 균일성과 정밀한 프로세스 제어를 제공하여 높은 수율과 장치 성능을 보장합니다. HELIOS 3000은 Mattson의 또 다른 성공적인 모델로, 뛰어난 난방 속도와 냉각 속도를 제공하여 열 예산을 줄이고 프로세스 성능을 향상시킵니다. 실라이제 형성, 선택적 에피 택시, 금속 리플로우와 같은 고급 응용 분야를 위해 설계되었습니다. Mattson의 빠른 열 프로세서는 전 세계 주요 반도체 직물 및 연구소에서 널리 사용됩니다. 업계 최고 수준의 성능, 혁신적인 기능, 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있는 능력을 인정받아 매트슨 (Mattson) 을 RTP 솔루션의 선호 제조업체로 선정했습니다.