판매용 중고 MATTSON Millios #293647674
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ID: 293647674
빈티지: 2008
Flash Rapid Thermal Processor (FRTP)
EFEM
MPSU Module
Service module
Process module
SCCT Rack
VFD Module
Power vaccine
Top side control
Storage rack
Voltage box
Accessories
2008 vintage.
MATTSON Millios는 반도체 웨이퍼 및 기판의 빠른 가열, 냉각 및 처리에 사용되는 빠른 열 프로세서입니다. 0.5 밀리초 이내에 최대 1200 ° C 온도에 도달 할 수 있으며, 광범위한 재료 및 epi 층에서 온도 주기를 수행 할 수 있습니다. 정확한 온도 조절 (± 1 ° C) 뿐만 아니라 빠른 램프 업/램프 다운 속도를 허용하는 MOSFET 기반 난방 시스템을 사용합니다. Millios는 Oxidation and nitridation, 산화 에뮬레이션, tenosening and annealing, metal layer alignment and burn-in 및 기타 제조 공정과 같은 다양한 응용 분야에 사용됩니다. 매트 슨 밀리 오스 (MATTSON Millios) 는 열 탐사 감소 및 더 낮은 가장자리 온도 구배, 감소 된 유도 응력 및 개선 된 산화 프로파일을 제공하는 수많은 혁신으로 설계되었습니다. 이러 한 특징 들 은 열 과정 을 정련 하고, 현대 "마이크로일렉트로닉스 '의 여러 가지 필요 에 적합 한 우수 한 재료 들 을 만드는 데 도움 이 된다. 이 기계 는 조종 된 대기 "챔버 '를 달아 더 많은 온도 조절 을 위한 안전 한 대기 환경 을 제공 한다. 방은 필요에 따라 진공 또는 비활성 가스 대기 욕조에 대해 가압/감압 될 수 있습니다. 또한, 이 기계에는 뛰어난 냉각 기능과 최대 냉각 응답 시간 (cooling response time) 을 제공하는 최신 냉각 시스템이 포함되어 있습니다. 밀리오스 (Millios) 는 새롭고 사용하기 쉽고 구성 가능한 그래픽 지원 기능을 기반으로 하는 고급 통합 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이를 통해 운영자는 가장 좋은 결과를 얻기 위해 원하는 열 처리 (thermal process) 를 빠르고 간단히 설정할 수 있습니다. 열 프로세서로서, MATTSON Millios는 매우 안정적이며, 탁월한 유지 보수 및 서비스 네트워크를 통해 지원됩니다. 전체 예비 부품 (Spare Parts) 키트를 탑재하여 다운타임을 최소화하면서 빠르고 쉽게 교체할 수 있습니다. 전반적으로 밀리오스 (Millios) 는 정교하고 혁신적인 빠른 열 프로세서로, 사용자에게 뛰어난 성능을 제공하면서 완벽한 유연성과 정확성을 제공하도록 설계된 기능으로 구성되어 있습니다. 정확하고, 안정된 난방 및 냉각 기능을 제공하여 정확하고, 반복 가능하며, 수확량을 제공하도록 설계되었습니다. 이 직접 난방/냉각 시스템 (Direct Heating/Cooling System) 은 고급 통합 사용자 인터페이스 및 종합적인 유지 관리 기능과 연동하여 MATTSON Millios 가 앞으로 몇 년 동안 안정적이고 안전한 운영을 제공할 수 있도록 합니다.
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