판매용 중고 MATTSON HELIOS #9390687

MATTSON HELIOS는 MEMS 장치 및 기타 IC에 빠른 어닐링 및 저온 리플로우 프로세스를 제공하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 헬리오스 (HELIOS) 는 RTA (Rapid Thermal Annealing) 기술을 활용하여 작고 견고한 패키지에서 가장 높은 정확도로 지속적인 열 제어를 제공할 수 있습니다. 최대 1200 ° C의 온도와 4 초의 주기 시간을 가진 열 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. MATTSON HELIOS는 매우 높은 수준의 프로세스 반복 가능성과 정확성을 제공하며, 온도, 시간 등의 프로세스 변수를 +/- 0.5% 내에 줄 수 있습니다. 열 프로파일의 균일 성도 극대화되며, 표준 프로세스는 +/- 2 ° C의 온도 균일 성을 달성합니다. 이러한 반복성과 균일성은 다른 RTP를 달성하기 어렵고, HELIOS를 많은 프로세스 애플리케이션에 이상적인 도구로 만듭니다. MATTSON HELIOS (MATTSON HELIOS) 는 사용자가 전체 열 프로세스를 사용자 정의하고 제어 할 수있는 통합 컴퓨터 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 온보드 컴퓨터에는 사용하기 쉬운 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 가 포함되어 있으며, 모든 프로세스 옵션에 빠르게 액세스할 수 있는 한편, 사용자 및 장비를 보호하는 안전 (Safety) 기능을 제공합니다. 또한 사용자 정의 레시피, 프로세스 모니터 및 데이터 수집, 샘플 데이터베이스, 프로세스 로깅 (고급 프로세스 제어 지원) 도 포함되어 있습니다. HELIOS의 견고성은 또한 가장 어려운 운영 환경에서도 높은 신뢰성을 제공합니다. 이 시스템은 열악한 환경에서 작동하도록 설계되었으며, MIL-STD-810F 에 따라 충격 및 진동 테스트를 거쳤습니다. 진공 조임 (vacuum tight) 구조는 또한 우수한 열 단열과 기계적 안정성을 제공하여 MATTSON HELIOS를 소형 장치의 측정 및 테스트를위한 신뢰할 수있는 프로세스 솔루션으로 만듭니다. 전반적으로, HELIOS는 연구 및 소규모 생산 라인을 위해 강력하고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 열 정확도, 반복 가능성 및 균일성 기능으로 인해 MEM 및 기타 IC 응용 프로그램도 완벽하게 선택할 수 있습니다. 고속 프로세스 자동화 및 고급 사용자 인터페이스를 통해 MATTSON HELIOS는 많은 응용 프로그램에 이상적인 빠른 열 프로세서입니다.