판매용 중고 MATTSON HELIOS #9389809

MATTSON HELIOS는 최첨단 웨이퍼 처리를 위해 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 뛰어난 생산 속도와 온도 프로파일을 제공합니다. 최첨단 전자 제품 (state-of-the-art electronics) 을 통해 단일 웨이퍼의 여러 온도 영역을 효과적으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. HELIOS 는 시장에서 가장 향상된 RTP 툴로서, 고급 디바이스 통합 기술의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 주요 기능은 다음과 같습니다. 최대 2000C/분의 빠른 램프 속도 기능; 최대 1050C의 고온 기능, 매우 낮은 듀티 사이클; 여러 튜브 스테이션에서 여러 웨이퍼에 동시 프로세스가 가능합니다. MATTSON HELIOS는 고급 진단 및 제어 시스템 (Advanced Diagnostics and Control Systems) 을 사용하여 실행되는 프로세스에서 높은 수준의 안정성과 반복성을 보장합니다. 전자 모니터링 시스템은 정확한 프로세스 제어를 보장합니다. 이중 NDIR 가스 흐름 시스템은 최고 순도 프로세스 가스 전달을 제공하고 오염 수준을 효과적으로 최소화합니다. 또한, 프로세서는 최고 품질의 어닐링 작업을 위해 특수 고순도 세라믹 열원을 사용합니다. 헬리오스 (HELIOS) 는 강력한 물리적 구조와 견고한 열 차폐 (heat shielding) 로 구축되어 높은 전력 밀도와 최소 열 열 확산을 보장하며, 이는 정밀 열 처리 작업에 필수적입니다. 정교한 프로세스 제어 소프트웨어는 효율적이고 완전하게 자동화된 멀티 스테이션 프로세스를 위해 열 사이클링을 최적화합니다. MATTSON HELIOS는 집적 회로 및 MEMS 시스템의 수율을 향상시키는 탁월한 성능을 제공합니다. 이 프로세서는 패키징, 고급 웨이퍼 라이닝 (advanced wafer thinning), MEMS 및 광자 제조 (photonics manufacturing) 와 같은 다양한 응용 프로그램에서 널리 사용됩니다. HELIOS는 정밀 열 처리에 이상적인 강력하고, 안정적이며, 비용 효율적인 장치입니다.