판매용 중고 MATTSON HELIOS #9382891

MATTSON HELIOS는 직접 가열을 사용하여 고정밀 열 처리를 수행하는 빠른 열 프로세서입니다. 그것 은 여러 가지 "반도체 '기판 의 작고 큰 배치 를 빠르고 효율적 으로 처리 하도록 설계 되었다. HELIOS는 현장 진공이 필요하지 않고 어닐링, 소결성, 결합 및 치료 재료를위한 고급 기능을 제공합니다. 여러 스테이션 기능을 갖춘 MATTSON HELIOS는 파일럿 및 프로덕션 레벨 어플리케이션을 모두 다용도로 사용할 수 있습니다. HELIOS의 직접 열 에너지 전달 장비 (DTED) 는 몇 가지 혁신적인 기술을 사용하여 정확하고 고품질 기판 처리를 보장합니다. APH (Advanced Planar Heating) 기술은 기판 표면에 열을 균등하게 분배하는 반면, TPTC (Thermal Control) 시스템은 최고 수준의 반복성을 보장합니다. TPTC 기술은 또한 치료 과정에서 정확한 온도 프로파일을 허용합니다. MATTSON HELIOS는 정확하고 반복 가능한 온도 제어를 위해 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 프로세스 컨트롤러에는 프로그래밍 가능한 램프 (RAM) 와 스로크 (Soak) 멀티 판독점이 장착되어 있어 프로그래밍을 단순화하고 추가 하드웨어가 필요하지 않습니다. 이 장치는 또한 챔버 압력, 산소 함량, 냉각 속도와 같은 주요 기계 매개변수를 모니터링하도록 자체 설계되었습니다. 이를 통해 중요한 품질 관리 표준 및 중요한 열 처리 매개변수를 준수할 수 있습니다. 또한 HELIOS는 빠른 설치 및 기판 로딩을 위해 설계되었습니다. 고급 통합 기능으로 자동 기판 교환이 가능합니다. 독립적인 카세트 저장 기능을 통해 프로세스 매개변수를 나중에 참조하기 위해 쉽게 리콜할 수 있습니다. 캐비닛 (Cabinet) 과 용지함 (Drawer) 도구의 설계는 워크로드 구성에 도움이 되며, 바쁜 열 처리 실험실을위한 깔끔하고 체계적인 접근 방식을 제공합니다. MATTSON HELIOS는 사용 중인 기판에 따라 최대 3 개의 스테이션에 대해 구성 될 수 있습니다. 여러 개의 챔버 구성으로 제공되며 저렴한 유지 보수 서비스를 제공합니다. 요약하자면, HELIOS는 최첨단 빠른 열 처리 자산으로, 뛰어난 반복성과 정확성을 지닌 정밀한 열 처리를 제공합니다. SMB (중소, 중견, 성장 기업) 운영 환경에 적합하며 온도 프로파일을 손쉽게 프로그래밍하고 주요 모델 매개변수를 모니터링할 수 있는 기능을 제공합니다. 효율적인 설계 및 통합 기능을 통해 빠른 설치 및 기판 로딩이 가능합니다.