판매용 중고 MATTSON HELIOS #9382889

MATTSON HELIOS는 MATTSON Technology, Inc.에서 개발하고 제조 한 빠른 열 프로세서입니다. 광범위한 고급 금속화 (Advanced Metallization) 및 웨이퍼 (Wafer) 제작 작업을 위해 설계된 대규모 시스템입니다. 이 다재다능하고 강력한 기계는 집적 회로, 마이크로 전자 및 나노 장치 제조에 광범위하게 사용됩니다. 프로세서는 향상된 빠른 열 처리 기술을 사용하여 높은 처리량을 달성합니다. 동시 처리 단계에서 탁월한 정확성, 반복 가능성 및 안정성을 제공합니다. 시스템에는 550mm 또는 200mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 대형 챔버가 있습니다. 또한 고유하게 설계된 듀얼 존 (Dual-Zone) 프로세싱 아키텍처를 통해 각 금속화 작업을 완료하고 제조 작업 기판을 작성하는 데 소요되는 시간을 줄일 수 있습니다. HELIOS는 강력한 디자인 제품군과 사용자 친화적 인터페이스를 갖춘 APC (Automated Process Controller) 를 사용합니다. 이를 통해 사용자는 레시피를 만들고, 저장하고, 매개변수를 조정하고, 단시간 내에 운영 단계를 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 이 프로세서는 빠른 열 처리를 위해 산소, 질소 및 기타 원소의 가스 혼합물 (gas mixture) 을 사용하도록 설계되었습니다. 편의를 위해, 또한 내장 진공 장치를 갖추고 있으며, 가스 소비를 크게 줄입니다. 프로세서는 기본적으로 모듈식이므로, 특정 애플리케이션에 따라 다른 모듈을 통합할 수 있습니다. 이 다재다능한 기계는 화학 기계 연마 (CMP), 스핀 온 웨이퍼 제작, 전기 도금, 확산, 산화, 질화 및 웨이퍼 테스트와 같은 다양한 프로세스에 적합합니다. 또한 MATTSON HELIOS 는 다양한 추가 옵션을 지원하므로 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로, HELIOS는 고급 금속화 (Advanced Metalization) 및 웨이퍼 제조 (Wafer Fabrication) 작업의 다양한 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 다용도 빠른 열 프로세서입니다. 탁월한 정확성, 생산성, 유연성을 제공하므로 빠른 속도와 비용 효율적인 처리가 가능합니다.