판매용 중고 MATTSON HELIOS #9315046

MATTSON HELIOS는 반도체 제조에 사용되는 빠른 열 프로세서 (RTP라고도 함) 입니다. 마트슨 테크놀로지 (MATTSON Technology) 가 만든 헬리오스 (HELIOS) 는 칩 제조에 사용되는 완전 자동화된 열 처리 장비로, 고급 반도체 제품을 형성하는 데 중요한 정밀한 열 프로세스를 제공 할 수 있습니다. MATTSON HELIOS RTP는 실리콘, III-V 화합물, 와이드 밴드 캡 재료와 같은 다양한 기질의 빠른 열 처리를 위해 설계되었습니다. 모든 웨이퍼에 걸쳐 빠른 온도 전환과 균일성 (unifority) 범위로 매우 빠른 열 처리 시간을 제공합니다. 또한, 이 RTP는 도핑, 이식, 산화, 질화 및 금속-유기 화학 증발 (MOCVD) 과 같은 응용 분야에 적합한 고온 및 고용량 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 시스템의 견고한 설계 및 모듈식 구성은 특정 프로세스 요구 사항을 손쉽게 충족할 수 있습니다. HELIOS RTP는 컴팩트하고 효율적인 장치로, 매우 작은 공간에서 열 처리를 제공합니다. 최첨단 열 제어 및 피드백 시스템 (feedback system) 으로 구성되어 지속적으로 반복 가능한 온도 프로파일, 정확성, 프런트엔드 자동화 기능을 제공합니다. 또한, 이 기계에는 통합 웨이퍼 처리를 갖춘 자동화된 프런트엔드 (Front-End) 로봇과 통합 대기 온도, 압력 측정 및 제어 등의 옵션이 포함되어 있습니다. 이 도구는 또한 최고의 열 산화 및 질화 모듈 (nitridation module) 과 순수한 재료의 증착을위한 초청정 MOCVD 모듈로 설계되었습니다. 또한 오염을 최소화하는 탄탈륨 질화물 장벽 층으로 알루미늄, 탄탈륨, 코발트의 증착을위한 선택적 시스템이 있습니다. 자산은 또한 자가 청소 기능, 높은 처리량, 추가 진단 도구, 원격 지원 기능을 갖추고 있습니다. 전반적으로 MATTSON HELIOS는 안정적이고 정확한 RTP이며, 모든 반도체 제조 요구를 충족시키기 위해 광범위한 고급 기능을 제공합니다. 이 솔루션은 고속 열 처리를 위한 비용 효율적인 솔루션으로, 빠르고 일관성 있는 처리를 위한 자동 정렬 (Automated Alignment) 및 프로세스 제어 기능을 제공합니다.