판매용 중고 MATTSON Helios #293829700

MATTSON HELIOS는 다양한 고급 열 처리 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 이 장비는 -190 ° C ~ 850 ° C의 광범위한 온도에서 정확하고 반복 가능한 온도 제어를 제공 할 수 있습니다. 이 강력하고 유연한 시스템은 반도체, LED 및 자기 기록 매체 산업에서 RTP anneal, oxide strip, nitride strip 및 확산 처리를 수행하는 데 이상적입니다. HELIOS의 프레임은 공압 동력, 4 축 로봇 암에 부착 된 스테인리스 스틸 챔버로 구성됩니다. "로봇 '암 은 여러 개 의" 웨이퍼' 를 제어 및 반복 가능 한 방법 으로 동시 에 수신, 이동 및 배치 할 수 있다. 이 챔버에는 몇 가지 조절 가능한 열 구단 (thermocouple) 과 가스 라인 (gas line) 이 있으며 정확한 온도 및 공정 제어를 제공합니다. 챔버 (Chamber) 와 로봇 암 (Robot Arm) 은 온도 조절 공기 여과 및 환기 된 배기 장치 등 여러 가지 기능에 의해 오염으로부터 보호됩니다. 이 기계는 사용자 친화적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 세트를 통해 프로그래밍 가능한 컴퓨터 기반 제어 도구로 구동됩니다. 이를 통해 사용자는 최대 애닐링 온도 (Maximum Annealing Temperature), 적용할 전원 (Power), 기타 프로세스별 매개변수 등 다양한 작동 매개변수를 설정할 수 있습니다. 애니얼 사이클 전반에 걸쳐 프로세스 조건을 모니터링, 기록, 보고하도록 에셋을 구성할 수도 있으며, 운영자에게 상세한 데이터, 유용한 시각화 (Visualization) 및 경고 기능을 제공하여 프로세스 설정을 최적화할 수 있습니다. MATTSON HELIOS는 또한 고유한 램프 업/다운 (Ram Up/Down) 기능을 갖추고 있어 빠르고 정확한 온도 램프로 빠른 열 처리 주기를 실행할 수 있습니다. 이 장비에는 프로세스 혁신 및 확장을 지원하는 모듈식 확장 기능도 있습니다. 이는 연구 데이터 센터 및 무중단 프로세스 시스템에 이상적인 선택입니다. 마지막으로, HELIOS는 온도 제한 스위치, 과잉 온도 센서, 안전 정지 (Safety Stop) 및 수동 안전 스위치 (Manual Safety Switch) 를 포함한 다양한 안전 기능을 제공하여 운영자에게 안전하고 능숙한 작동 상태를 제공합니다.