판매용 중고 MATTSON HELIOS #293821685

MATTSON HELIOS는 중요한 열 프로세스에서 효율적이고 정확한 온도 제어를 위해 설계된 고성능, 견고한 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. HELIOS는 고출력 반절연 RF 생성기, 고급 온도 조절 알고리즘, 고정밀도 자동 온도 측정, 최적화된 하드웨어 및 소프트웨어 구성을 갖추고 있습니다. 강력한 에너지 효율적인 RF 발전기에 의해 빠르고 균등하게 가열되는 고용량 석영 및 흑연 감수기를 사용합니다. 미리 프로그래밍된 열 입력 프로파일은 빠른 가열, 정확한 온도 조절, 빠른 냉각 (cool-down) 을 결합하여 빠르고 정확도가 높은 열 프로세스 결과를 실현합니다. 한편, 실시간 폐쇄 루프 온도 제어 알고리즘은 높은 정확도, 반복 가능, 신뢰할 수있는 프로세스 온도 제어를 보장합니다. 또한, "서셉터 '의 온도는 내장 열전대 (thermocouple) 에 의해 정확하고 연속적으로 측정되며, 이는 또한 원하는 전력 또는 온도 수준의 함수로 서셉터 온도를 제어하도록 설정 될 수있다. 다목적 소프트웨어는 가변 프로세스 사용자 정의를 허용하며, 데이터 로깅 기능을 위한 통합 반자동 (semi-automatic) 도구는 효율적이고 반복 가능한 처리를 제공합니다. 기기의 높은 온도와 안전한 작동을 지원하기 위해 MATTSON HELIOS는 내화성 재료, 공기 여과 시스템, 비상 종단 시스템 (Emergency Shutdown System) 으로 구성된 모듈식 및 넓은 케이스로 설계되었습니다. 또한 자궁 봉인, 화재 감지, 오디오/시각적 경보 등 여러 가지 안전 기능을 제공합니다. 전반적으로, HELIOS는 높은 정확도, 반복 가능, 신뢰성 있는 온도 제어, 강력하고 효율적인 열 처리를 보장하는 고급 고속 열 프로세서입니다. 반도체, 박막, 자동차, 의료, 과학 연구 등 다양한 산업에 적합합니다.