판매용 중고 MATTSON HELIOS #293665736

MATTSON Helios는 다양한 기판 및 재료에서 광범위한 열 프로세스를 수행하도록 설계된 빠른 열 프로세서 (RTP) 입니다. 헬리오스 (Helios) 는 몇 초 또는 몇 분 안에 최대 900 ° C의 열재가 될 수있는 혁신적인 디자인을 갖추고 있습니다. 파퍼 (wafer) 표면의 전체 영역에 걸쳐 엄격한 공정 제어 및 균일성으로 민감하게 설계 및 제작되었습니다. MATTSON Helios는 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 및 excimer 레이저 어닐링 기술을 사용하여 균일 성과 프로세스 제어를 손상시키지 않고 가장 빠른 가열 속도를 달성합니다. 이를 통해 공구는 열 예산을 최소화하면서 온도, 시간 간격이 정밀한 기판, 재료를 처리할 수 있습니다. Helios는 또한 최대 950례의 온도, 이중 5kW 저소음, 고밀도 플라즈마 소스 및 배치 또는 인라인 RTP 모드에서 작동 할 수있는 고온 범위 히터를 갖추고 있습니다. 매트슨 헬리오스 (MATTSON Helios) 는 광범위한 열 프로세스에서 온도와 시간을 정확하게 제어하기 위해 혁신적이고, 빠르고, 신뢰할 수있는 프로세스 도구를 제공합니다. 견고한 디자인, 단단한 제어 및 균일 한 난방 (uniform heating) 을 통해 다른 재료를 정확하게 어닐링하여 양질의 제품을 만들 수 있습니다. 빠른 가열 기능, 고온 범위 히터 (high temper range heater) 및 다중 플라즈마 소스 (multiple plasma source) 를 통해 매개변수를 높은 정밀도로 제어할 수 있습니다. 이를 통해 Helios는 우수한 프로세스 제어를 통해 안정적이고 고성능 RTP를 찾는 사람들에게 완벽한 선택이 됩니다.