판매용 중고 MATTSON Hel-A4906 #9384683

MATTSON Hel-A4906은 반도체 웨이퍼에 대한 정밀한 난방, 냉각 및 균일성을 제공하는 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 이 장비는 빠른 프로세스 개발 및 특성화를위한 정확한 온도 프로파일을 제공합니다. STC (Standard Thermal Chassis) 기술을 기반으로 한 컴퓨터 제어 장치로, 각 프로세스 단계를 실시간으로 설정 및 모니터링할 수 있습니다. Hel-A4906에는 불활성 환경이 장착되어 오염이없는 프로세스가 가능합니다. RTP는 2 구역 작동을 가지고 있으며 20 ~ 800 ° C의 온도를 조정할 수 있습니다. 2 개의 온도 설정, 2 개의 공정 압력 설정 및 와이드 온도 램프 (wide temper ramping) 범위는 모든 응용 프로그램 유형에 대해 정확하고 재현 가능한 열 프로세스를 가능하게합니다. RTP (Advanced Microgravity Technology) 는 또한 반도체 응용 프로그램 표면의 열적 비 균일성을 줄이고 균일성을 향상시키는 것을 목표로하는 고급 마이크로 중력 (Microgravity) 기술을 갖추고 있습니다. MATTSON Hel-A4906은 또한 우수 클래스 진공 시스템을 갖추고 있으며, 0.00100 - 760 Torr 범위의 중저압 프로세스에 대한 정확한 프로세스 제어를 가능하게합니다. 진공 장치에는 최대 대피 속도를위한 다단 확산 및 터보 펌프 (Turbo Pump) 가 포함됩니다. 추가 진공 기계 (옵션) 를 도구에 통합하여 매우 높은 진공 처리를 제공 할 수 있습니다. RTP 자산은 다양한 품질 제어 도구와 호환되도록 설계되었습니다. 기기는 광학 현미경 시스템, SEM (in-situ scanning electron microscopes) 및 X- 선 분광계와 통합 될 수 있습니다. 또한 가스 공급 장치, 대량 흐름 컨트롤러, 외부 응용프로그램을위한 임베디드 통신 프로토콜도 갖추고 있습니다. 이 모델을 사용하면 펌프, 매니 폴드, 밸브, 헬륨 누수 검출기와 같은 여러 사용자 정의 리소스를 통합 할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 독립적인 과잉 온도 보호 (over-temper protection) 및 안전 위험 (safety critical fault) 이 감지되면 작동하는 자동 종료 시스템 (auto-shutdown system) 과 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 구리 블록은 샘플 안정화 및 열 균일성에 사용됩니다. 이 장치는 또한 추가 RF 소스를 통합 할 수 있습니다. 전반적으로, Hel-A4906은 빠르고 균일 한 프로세스를 지원하기 위해 난방 및 냉각 프로파일을 정확하게 제어하는 업계 최고의 RTP 기계입니다. 통합 품질 관리 툴과 고급 (Advanced) 기능은 안정적인 프로세스 성능과 재현성을 보장합니다.