판매용 중고 MATTSON AST 3000 #9390654

MATTSON AST 3000은 반도체 처리 작업에 탁월한 처리량 및 비용 절감을 제공하도록 설계된 혁신적인 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 고급 기술과 고급 자동화 장비를 갖춘 MATTSON AST3000은 어닐링, 확산, 박막 레이어 증착 및 처리, 플라즈마 에칭 및 클리닝, 단일 및 이중 웨이퍼 프로세싱 (single and dual wafer processing) 과 같은 고급 응용 단계에 이상적인 도구입니다. AST 3000 의 설계는 모듈식 "플랫폼 3000 (Platform 3000)" 아키텍처를 기반으로 하며, 전체 시스템 재구축이 필요 없이 추가 및 업그레이드가 가능합니다. AST3000은 구성 기능이 뛰어나고 디지털 PCR 장치 (Digital PCR Unit) 에서 향상된 온도 제어 (Enhanced Temperature Control) 에 이르기까지 다양한 기능을 제공합니다. 50 ° C ~ 500 ° C의 다양한 온도가 가능하므로 다양한 열 응용에 적합합니다. 이 고급 열 설계는 또한 더 빠른 램프 업 및 냉각 속도를 가능하게합니다. MATTSON AST 3000에는 과열 보호 메커니즘, 이중 모드, 온도 조절 웨이퍼 리프트 메커니즘 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 대피 가능 로드 잠금 (Evacuable Load Lock) 옵션을 사용할 수 있으므로 더 빠른 열 주기와 향상된 프로세스 제어가 가능합니다. 또한, 이 플랫폼은 프로세스 매개변수 및 개별 시스템 성능을 모니터링하는 데 사용되는 고급 소프트웨어 패키지를 지원합니다. MATTSON AST3000에는 고급 자동화 머신 (Automation Machine) 이 장착되어 있어 여러 시스템에서 작업을 통합하고 수작업 (Manual Labor) 을 줄일 수 있습니다. 처리량은 기존 수동 프로세스에 비해 최대 5배까지 증가할 수 있습니다. 전반적으로, AST 3000 은 고급 툴로서, 반도체 처리 작업에서 처리량 및 비용 효율을 높일 수 있습니다. 성능, 기능 및 경제성의 최적의 조합을 제공합니다.