판매용 중고 MATTSON AST 3000 #9359569

MATTSON AST 3000은 고급 반도체 장치 생산의 고급 기술 수요를 해결하기 위해 MATTSON에서 개발 한 컴팩트하고 고성능 고속 열 프로세서 (Rapid Thermal Processor) 입니다. 효율적인 열 처리 기술과 높은 처리 능력을 갖춘 MATTSON AST3000 은 일반 시스템보다 빠른 속도로 열 어닐링 (thermal annealing) 및 드라이브 인 (drive-in) 주기를 제공할 수 있습니다. AST 3000 에는 향상된 성능과 정확성을 제공하는 여러 가지 장점들이 포함되어 있습니다. 각 개별 링의 독립적 인 열 제어를 허용하는 멀티 링 퍼니스 (multiple-ring furnace) 설계를 통해 다양한 드라이브 인 (drive-in) 및 어닐링 (annealing) 주기를 사용할 수 있습니다. 프로그래밍 가능한 플라즈마 소스 (Plasma Source) 는 더 복잡한 프로세스에 사용할 수있는 가스 조성을 증가시킵니다. 또한, 고정밀 온도 컨트롤러가 있으며, 초단파 어닐링 타임은 섬세한 장치에 대한 열 손상 위험을 줄입니다. 또한 AST3000은 높은 처리량과 고급 분석 기능을 제공합니다. 온도 감지 센서 장치 (temperature-sensing sensor unit) 및 내장 쿼츠 창은 프로세스 내 매개변수에 대한 고정밀 분석을 가능하게 하여 보다 일관된 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 다중 영역 (multiple-zone) 기술을 통해 다양한 처리 영역을 선택할 수 있으므로 처리 유연성이 향상됩니다. MATTSON AST 3000은 고급 및 고정밀 반도체 부품 생산에 사용하도록 설계되었습니다. 고성능 열 처리 용량은 3D 장치 준비, 프로세스 최적화, 고속 장치 에이징 평가, 고급 및 섬세한 반도체 장치의 빠른 열 처리 (rapid thermal processing) 와 같은 어플리케이션에 이상적입니다. 이 자동화된 빠른 열 (Rapid Thermal) 프로세서는 사용자 친화적이며 설치가 용이하며, 혁신적인 설계는 각 애플리케이션 및 특정 요구 사항에 맞게 최적화할 수 있음을 의미합니다. 또한 MATTSON AST3000은 탁월한 에너지 효율성과 강력한 열 제어 기능을 제공하여 고밀도, 고성능 반도체 부품을 생산하는 데 효과적이고 비용 효율적인 수단입니다.