판매용 중고 MATTSON AST 3000 #9281772

MATTSON AST 3000은 MATTSON Technology, Inc.에서 제조 한 고성능 고속 열 프로세서입니다. 반도체 웨이퍼의 처리량이 적고 높은 열 처리 (thermal processing) 를 위해 설계된 다용도 장비입니다. MATTSON AST3000은 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 프로세스 온도가 -100 ~ 1200 ° C인 웨이퍼 다이, 기판 및 기타 객체에 대해 정확한 열 제어를 제공합니다. 이 시스템은 최대 15 개의 개별 웨이퍼 로트를 동시에 처리 할 수 있습니다. 처리 실에는 고속 SCAR (Selective Zone Atmosphere Retention) 원리를 사용하여 최소 가스 교환으로 빠른 열 처리 주기를 가능하게합니다. AST 3000은 프로세스 제어, 모니터링 및 데이터 내보내기에 MATTSON 독점 PROCESSWARE 소프트웨어를 사용합니다. 멀티 레시피 실행, 컴퓨터 제어 데이터 획득, 실시간 모니터링 등의 기능이 포함되어 있습니다. 또한 자동 온도 조절 장치 (Automatic Temperature Control Unit) 를 장착하여 정확성과 반복성을 향상시킵니다. 이 기계의 대형 터치스크린 디스플레이는 쉽게 제어할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. AST3000은 매우 정확하고 반복 가능한 열 제어 (thermal control) 기능을 제공하여 정밀한 온도 조절, 반복 가능성, 주기 시간이 필요한 운영 실행에 이상적입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 견고한 설계와 결합된 높은 열 처리량 (thermal throughput) 과 정확성 (accuracy) 을 통해 안정적이고 장기적인 열 처리를 원하는 제조업체에 적합한 선택입니다.