판매용 중고 MATTSON AST 3000 #293816538

MATTSON AST 3000은 반도체 기판의 매우 정확한 열 처리를 위해 설계된 RTP (Rapid Thermal Processor) 입니다. 이 3 세대 RTP에는 최종 사용자가 정확한 온도 경사, 우수한 온도 균일성, 성장/어닐링 레시피 (Run Time) 의 연장, 저소량 및 대용량 생산, 또는 어려운 프로세스 개발 작업에 이상적인 선택 등의 기능이 포함되어 있습니다. MATTSON AST3000에는 400mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 대형 난방 존 (zone) 과 온도 균일성 향상을 위해 추가 가드 링이있는 300mm 존 (zone) 이 있습니다. 이 시스템은 Keco 기술, GaAs (GaAs) 기술 패키지 및 디지털 제어 (Digital Control) 와 통합되어 온도 제어의 정확한 정확성과 반복 가능성을 제공하며 복잡한 열 프로세스로 어려운 레시피를 실행할 수있는 유연성을 제공합니다. AST 3000 의 완전 밀폐형 수직 설계는 TIR (Total Internal Reflection) 을 일관되게 보장하며 오픈 플랫폼 시스템과 관련된 일반적인 Run-to-run 변형을 제거합니다. 또한, 선택적 가스 전달 시스템을 통해 프로세스 레시피 전반에 걸쳐 여러 가스 단계를 실행할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 프로세스 전 온도 특성 및 모니터링을 위한 고정밀 검증 패키지를 제공합니다. AST3000은 정적 및 동적 진공 처킹으로 구성됩니다. 정적 진공은 정밀한 열 전달을 위해 기판을 단단히 고정시키는 반면, 동적 진공은 기계적 변위 (mechanical displacement) 동안 기판의 위치 정밀도를 보장합니다. MATTSON AST 3000은 또한 독점적 인 FIDM (Fast Internal Dose Management) 알고리즘을 특징으로하며, 이는 빠른 온도 램프와 뛰어난 안정성과 반복 성을 위해 고유 한 SPSG (Short Period Stop and Go) 알고리즘을 정확하게 제어 할 수 있습니다. MATTSON AST3000은 열 처리 효율성과 정확성을 대폭 향상시키는 한편, 제품 턴어라운드 (turn-around) 시간을 허용하도록 설계되었습니다. 이를 통해 운영자는 운영 프로세스 전반에 걸쳐 비용을 절감하고 전반적인 프로세스 반복성을 향상시킬 수 있습니다.